Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #293820596 zu verkaufen

ID: 293820596
Plasma system.
Der AMAT Centura 4.0 Reaktor ist eine hochmoderne Hochdurchsatz-Abscheidemaschine für die Verarbeitung unterschiedlichster Materialien. Dieser Reaktor ermöglicht eine schnelle, effiziente und kostengünstige Herstellung komplexer Bauelemente wie integrierte Halbleiterschaltungen und optoelektronische Bauelemente. Die Centura 4.0 ist mit einer vollautomatischen Prozesssteuerungsausrüstung konfiguriert, die es dem Bediener ermöglicht, die Waferbearbeitung kontinuierlich zu überwachen und Ausfallzeiten zu reduzieren. Mit der Funktion zur Kammerkennzeichnung können Einstellungen von einem Laptop oder einem entfernten Standort aus per Ethernet-Verbindung aus eingestellt werden. Der Temperaturregler ermöglicht eine Temperaturabstimmbarkeit im Bereich von 200 ° C bis 400 ° C, wodurch die Abscheideeigenschaften für jeden einzelnen Bearbeitungslauf auf die gewünschten Ergebnisse abgestimmt werden können. Substratkühlung ist auch verfügbar, um Substratoberflächentemperaturen (Tm) zu reduzieren. Das Lastschleusensystem des Centura 4.0-Reaktors evakuiert automatisch die Prozesskammer und behält während der Prozesszyklen eine saubere Umgebung innerhalb der Reaktorkammer bei, wodurch eine konsistente Filmabscheidung von Wafer zu Wafer gewährleistet ist. Kundenspezifische Gaskastenkonfigurationen sind auch verfügbar, um die Optimierung des Gasflusses und die gleichmäßige Gasverteilung zu erleichtern. Darüber hinaus nutzt der Reaktor eine ganze Reihe von In-situ-Überwachungswerkzeugen wie Reflektometer und Quarzkristallüberwachung, so dass der Bediener die Prozessbedingungen in Echtzeit überwachen kann. Der Reaktor ist mit einer Polymerwachstum-Abscheidung (PGD) ausgestattet, die eine beispiellose Kontrolle des epitaktischen Wachstums im Produktionsprozess ermöglicht. Die Wirkung einer speziellen Abscheidungsquelle in Kombination mit gepulsten Substratimpulsen führt zu Filmeigenschaften, die mit anderen Verarbeitungsverfahren nicht erreichbar sind. Die Centura 4.0 bietet zudem eine eingebaute Partikelsteuerung, die Partikel während der Ablagerung kontinuierlich überwacht, detektiert und eliminiert. Diese Maschine kann Prozessstabilität während der Abscheidung erkennen und gewährleisten. Insgesamt ist der Centura 4.0 Reaktor eine Maschine der nächsten Generation, die die Produktionskosten minimiert und die Produktionskapazität maximiert. Mit seiner fortschrittlichen Prozesssteuerung und dem vollen Spektrum an Abscheideprozessfähigkeiten ist diese Maschine das ideale Werkzeug für die Hochdurchsatzabscheidung und Geräteherstellung.
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