Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 ACL #9200079 zu verkaufen

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ACL ist ein fortschrittlicher Halbleiterverarbeitungsreaktor, der speziell für Hochleistungs-Plasmaätzanwendungen entwickelt wurde. Dieses leistungsstarke Tool bietet ausgezeichnete Ätzgleichmäßigkeit, Selektivität und Konsistenz. Das Werkzeug wurde entwickelt, um eine kostengünstige Fertigung komplexer Strukturen mit kleinen kritischen Abmessungen zu ermöglichen. AMAT Centura 5200 ACL wurde mit einem Einkammer-Plasmaätzreaktor entwickelt. Die Konstruktion dieses Reaktors beinhaltet eine patentierte, niederinduktive feldgekoppelte Plasmaquelle (FCP), die ein gleichmäßigeres Plasma in der gesamten Prozesskammer erzeugt. Dadurch erhält das Werkzeug eine außergewöhnliche Ätzgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Zusätzlich nutzt die Maschine eine gleichmäßige bimodale Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Quelle für ein genaueres, konsistenteres und wiederholbares Plasmaätzverfahren. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 ACL unterstützt auch einstufiges Ätzen, was die Notwendigkeit mehrerer Ätzprozesse überflüssig macht. Dies ermöglicht eine schnellere, zuverlässigere und wirtschaftliche Produktion. Die Mittelplatte des Reaktors enthält auch ein fortschrittliches Temperaturregelsystem, um eine ultrafeine Temperaturregelung zu gewährleisten. Dies ermöglicht hochpräzise Plasmaätzprozesse. Die niedrig induktive FCP-Plasmaquelle ermöglicht es auch, das Werkzeug so zu konfigurieren, dass es HBr-, Cl2 und SF6-Prozesse ausführt, was weitere Unterstützung für eine Vielzahl von Prozessen auf demselben Werkzeug bietet. Centura 5200 ACL ist kompakt gebaut und verfügt über eine komfortabel unterteilte Kammer mit zwei Trennventilen, einem einzigen Pumpsystem und einem gemeinsamen Gaspanel. Dies macht das Werkzeug relativ einfach zu installieren und zu warten, was ideal für eine schnelle, wartungsarme Produktion ist. Der Reaktor enthält auch ein Top-Level-Diagnosepaket mit fortschrittlicher Hardware und Software, die eine bessere Kontrolle und Überwachung des Plasmaätzens ermöglichen. Dies gewährleistet einen zuverlässigen und wiederholbaren Prozess in der Produktion. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ACL ist ein fortschrittliches Performance-Ätzwerkzeug, das entwickelt wurde, um ausgezeichnete Ätzgleichmäßigkeit, Selektivität, Konsistenz und wirtschaftliche Produktion für komplexe Strukturherstellung mit kleinen kritischen Abmessungen zu bieten. Der Mehrkammer-Plasmaätzreaktor verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, wie eine niederinduktive FCP-Quelle, eine bimodale ECR-Quelle, ein Temperaturregelungssystem und ein Diagnosepaket für eine bessere Steuerung und Überwachung, die es ideal für einen hohen Durchsatz, eine kostengünstige Herstellung einer Reihe von Schaltungen machen.