Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 ACP / EPI #160377 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ACP/EPI ist ein Werkzeug, das in Halbleiterherstellungsprozessen zur Herstellung von hochwertigen integrierten Schaltungen und Waferverpackungen verwendet wird. Es ist ein fortschrittlicher Abscheide- und Ätzreaktor, der die an den modernen fortschrittlichen Knoten erforderliche Einheitlichkeit, Wiederholbarkeit und Prozessgenauigkeit liefert. AMAT Centura 5200 ACP/EPI bietet eine optimale Plattform für fortschrittliche Materialabscheidungs- und Ätzprozesse. Es handelt sich um ein Einwafer-Lastschlosssystem mit separater Ätzkammer für Trockenätzprozesse. Dies ermöglicht die Inline-Abscheidung und Ätzung statt sequentiell mit einem separaten Werkzeug für jeden Prozessschritt. Das Werkzeug eignet sich auch hervorragend für Passivierungsprozesse auf Waferebene. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 ACP/EPI enthält einen modularen Substrat-Wendestab, der die Waferorientierung für ein gleichmäßiges Ätzen unterstützt. Dieses Konstruktionsmerkmal bietet im Vergleich zu herkömmlichen Werkzeugen eine verbesserte Wiederholbarkeit und Prozessgleichförmigkeit. Centura 5200 ACP/EPI verfügt zudem über einen leistungsstarken Robot Handler mit einer uni-direktionalen Übertragungsmethode. Diese Funktion gewährleistet eine genaue Ausrichtung und sichere Handhabung von Substraten bei der Übertragung zwischen den Prozessmodulen. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ACP/EPI bietet ein verbessertes Prozesskammerdesign mit verbesserter Plasmagleichförmigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz. Das Plasma wird sowohl mit Elektronenzyklotronresonanz (ECR) als auch mit induktiv gekoppelten Plasmaquellen (ICP) erzeugt. Es verfügt auch über einen Hochfrequenz (RF) Stromgenerator, der es dem Benutzer ermöglicht, Leistungspegel schnell und genau einzustellen. Der Anwender kann auch Druckniveaus einstellen und eine Kristallquarzfenstertemperatur-Sonde ermöglicht die Inspektion und Überwachung von Prozesstemperaturen. AMAT Centura 5200 ACP/EPI bietet Technologie und Leistung, die die Herstellung hochmoderner integrierter Schaltungen und komplexer Wafer-Level-Pakete ermöglichen. Seine hervorragende Abscheidung und Ätzgleichmäßigkeit erfüllt die anspruchsvollen Prozessanforderungen auf den neuesten fortschrittlichen Knoten. Das fortschrittliche Design des Werkzeugs sorgt für optimalen Substrattransport und -handling sowie bestmögliche Wiederholbarkeit und Prozessgenauigkeit. Mit Funktionen wie HF-Stromgenerator, Druckregelung, Temperaturfühler und modularem Wendebalken ist APPLIED MATERIALS CENTURA 5200 ACP/EPI ein effektives Werkzeug, um die höchstmögliche Leistung für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse zu erzielen.