Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS #9122814 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9122814
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Poly silicon etch system, 8"
(2) Chambers
Position A: DPS Poly R1
Position B: DPS Poly R1
Position F: Orientor
Narrow body load locks
HP Robot
Generator rack
NBLL's
System controller
1997 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS ist ein großformatiger Fertigungsreaktor, der zum Erstellen und Formen von Halbleiterbauelementen wie Transistoren, Chips und anderen elektronischen Bauelementen entwickelt wurde. Der Reaktor besteht aus drei Komponenten: der Quarzkammer, der Gasförderanlage und dem Prozessleitsystem. Die Quarzkammer ist eine zylindrische Kammer aus Quarz, einem natürlich vorkommenden Material auf Siliciumdioxidbasis. Die Kammer ist mit einer Reihe von Öffnungen zur Aufnahme von Wafern und Gasen während des Herstellungsprozesses ausgebildet. Durch die Anordnung von Häfen, Gasen und Wafern können Hersteller eine Vielzahl von Produkten in der Kammer erstellen. Zur Vermeidung von Verunreinigungen wird die Quarzkammer vakuumversiegelt und erhitzt, um das Vorhandensein unerwünschter Partikel zu reduzieren. Die Gasfördereinheit ist die zweite Komponente des AMAT Centura 5200 DPS. Mit dieser Maschine können Hersteller unterschiedliche Reaktionen innerhalb der Kammer erzeugen, indem sie präzise Gasmengen abgeben. Das Gasförderwerkzeug verwendet einen Satz von Gasflussreglern, Ventilen und Rohrleitungen, die von der Prozesssteuerungssoftware des Vermögenswertes überwacht werden. Durch genaue Messung, wie viel von jedem Gas in den Reaktor gepumpt wird, können Benutzer die Art der Reaktion ändern, die stattfindet. Die Endkomponente von APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS ist das Prozesssteuerungsmodell. Dies steuert den gesamten Fertigungsprozess von Anfang bis Ende. Er steuert den Gasstrom, die Kammertemperatur, die Leistungsaufnahme und den Kammerdruck. Es überwacht auch wichtige Parameter wie Widerstand, Durchbruchspannung und Mobilität. Die Prozesssteuereinrichtung ist auch für die Alarmierung der Hersteller bei Erreichen vorgegebener Grenzen verantwortlich. Centura 5200 DPS Reaktor ist ein extrem leistungsfähiges Fertigungswerkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Halbleiterbauelementen zu manipulieren und zu gestalten. Mit den fortschrittlichen Eigenschaften seiner Quarzkammer, seines Gasfördersystems und seiner Prozesssteuereinheit ist der Reaktor in der Lage, komplexe elektronische Komponenten genau zu produzieren.
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