Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS #9211801 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9211801
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Metal etcher, 6"
P/N: 0010-70789
Chamber
Centura mainframe
(3) Process chambers
Chamber A: DPS Metal
Chamber B: DPS Silicon
Chamber C: MxP+ Oxide, MxP+ RF match
Chamber E / F: Remote orienter
Centura Gas panel
Narrow body tilt-out loadlocks
End point detection
HP Robot
Centura DPS Cathode
(2) SEIKO SEIKI STP-301CB1 Turbo molecular pumps
Power distribution cabinet
Remote power supply cabinet:
(2) SEIKO SEIKI STP-A1303C Controllers
APC Backup battery
SEIKO SEIKI STP-H1000C Control unit
RFPP LF-5 RF Power supply
RFPP RF20R Generator
ADVANCED ENERGY HFV 8000 RF Generator
(2) ENI OEM-12B3 RF Generators
(2) NESLAB HX-150 Chillers
(2) EDWARDS iH80 Pumps
(2) EDWARDS QDP80 Dry pumps
(2) APPLIED MATERIALS Heat exchanger carts
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 320 A
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS ist eine großflächige 200mm-Abscheideausrüstung, die entwickelt wurde, um hochkonforme Schichten von Materialien über große Flächen abzuscheiden. Dieser Reaktor verfügt über eine hohe Genauigkeit, eine Mehrzonensubstrattemperaturregelung, eine thermisch gesteuerte Abscheidekammer und ein Dreifach-Gaszuführsystem, das einstellbar ist, um die Substratform jedes Wafers zu erfüllen. Dieses Gerät ist so konzipiert, dass es mit mehreren Herstellungsprozessen kompatibel ist, einschließlich chemischer Dampfabscheidung (CVD), Atomschichtabscheidung (ALD) und Atomschichtätzen (ALE). AMAT Centura 5200 DPS ist eine fortschrittliche Maschine zum Abscheiden von ultradünnen Filmen mit hoher Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Substratabdeckung. Es ist in der Lage, Filme bis zu 200-500 Nanometer dick bei Geschwindigkeiten von bis zu 1000 nm pro Stunde abzuscheiden. Das Chassis besteht aus Aluminium, Silizium und Edelstahl für maximale Haltbarkeit, ohne auf thermische Leistung zu verzichten. Es verfügt auch über ein großes Glockenglas, das mehrere Werkzeuge passen kann, mit der Fähigkeit, mehrere Radien und Rohrlängen in einem Werkzeug zu halten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 DPS ist für einfache Bedienung, Wartung und Reinigung gebaut. Es verfügt über ein bordeigenes, berührungsloses Wafer-Mapping-Element, das wiederholbare, sichere Waferbewegungen ohne Kontamination ermöglicht. Es verfügt auch über automatische Drucksteuerung und Massendurchflussregler, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Das Modell verfügt über einen vollautomatischen Prozess sowie manuelle Befehle, so dass Benutzer Prozesse schnell anpassen können, wie sie es für richtig halten. Centura 5200 DPS verfügt auch über eine automatisierte Leckprüfanlage, die Gaslecks oder Brüche erkennen kann. Durch die automatische Überprüfung der Integrität des Systems können Benutzer schnell Anpassungen vornehmen und kostspielige Reparaturen oder Verzögerungen vermeiden. Das Gerät verfügt auch über eine fortschrittliche Wärmemanagementmaschine, um Druck und Temperatur effizienter zu regulieren. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS ist ein zuverlässiges Abscheidungswerkzeug für hochwertige Dünnschichtabscheidung. Es ist ideal für die Herstellung hochpräziser fortschrittlicher Materialien und Nanostrukturen wie MEMS und NEMS mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Der Vermögenswert verbindet Leistung und fortgeschrittene Mehrzonentemperaturkontrolltechnologie für chipmakers, Forschung und Laboranwendungen.
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