Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF #9146382 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF (High Temperature Ofen) ist ein vielseitiges, thermisches Bearbeitungswerkzeug für Hochfrequenzanwendungen bis zu einer Temperatur von 850 ° C, geeignet für umfangreiches Nachmetallisierungsglühen, Dotierungsaktivierung und Polysiliziumumkristallisation. Das 5200 HTF bietet eine Reihe von Funktionen in seinem Design, um eine konsistente, langfristige thermische Verarbeitung zu fördern. Sein einzigartiges ellipsenförmiges Design umfasst sowohl horizontale als auch vertikale Temperaturfeldverteilung, was Temperatureinheitlichkeitsprobleme minimiert. Es ist mit Dual-Source, Dual-Frequenz-Induktionsheizung, die hohe Effizienz bei niedrigen, konsistenten Leistungsniveaus. Darüber hinaus hält seine hohe Leistung, zweistufige Wasserkühlung Ausrüstung effektiv Prozesstemperaturen und wird entwickelt, um jede prozeßgenerierte Partikelverunreinigung zu minimieren. Eine umfassende programmierbare Logiksteuerung (SPS) unterstützt eine zuverlässige, wiederholbare Prozesssteuerung. Es ist mit einer ganzen Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich eines Übertemperatur-Sperrkreises, Wasserflussüberwachung und Wärmebildgebung. Darüber hinaus ist die SPS-Einheit entworfen, um eine große Anzahl von Verarbeitungsrezepten zu speichern, so dass sie in der Lage ist, mehrere Prozesse in schneller Folge durchzuführen. Das reinraumkompatible Design der Maschine verfügt über eine abgedichtete Kammer ohne Spülgasanforderungen und ein duales Rückgewinnungswerkzeug mit FCKW-freien Kältemitteln für eine verbesserte Filterreinigung. Es ist auch in AMAT Ultrapure™ Reinigungsmittel für eine kontaminationsfreie Umgebung integriert. Der 5200 HTF ist das ideale thermische Bearbeitungswerkzeug für Forschung und Entwicklung sowie für die Produktion von hochwertigen elektronischen Geräten im Großserienmaßstab. Seine fortschrittlichen Funktionen ermöglichen eine hervorragende Temperaturgleichförmigkeit und Kontrolle, wodurch zuverlässige wiederholbare thermische Prozesse und überlegene Produktqualität ermöglicht werden.