Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+ #293820614 zu verkaufen
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ID: 293820614
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Oxide dry etcher, 8"
(4) DXZ Chambers
HP Robot
DS80 Dry pump
(3) DS700 Dry pumps
(4) NESLAB 150 Chillers
(28) HORIBA Digital MFCs
Gases: CO, N₂, C₄F₈, O₂, CF₄, CHF₃, Ar
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP + ist ein Halbleiterreaktor, der Teil der Centura-Plattform von Halbleiterherstellungssystemen ist. Die Ausrüstung ermöglicht eine genaue Abscheideprozesssteuerung über einen weiten Bereich von Temperaturen und Prozessgasen und ermöglicht eine hochzuverlässige und wiederholbare Filmabscheidung. Der Reaktor ist mit einer Modulator Focus Chamber (MFC) und Purge Chamber ausgestattet, die eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Prozesskontrolle bieten. Das MFC bietet eine verbesserte Reaktionsumgebung bei gleichmäßigem Gasstrom und -temperatur. Dies bietet eine überlegene Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit auch für die komplexesten Abscheidungstechniken. Die Spülkammer hilft bei der Entfernung von restlichen Nebenprodukten, die nach Abscheideprozessen zurückbleiben, und sorgt für niedrige Verschmutzungen. Es ist auch mit Standardprozessmodulen der Halbleiterindustrie ausgestattet, einschließlich Abscheidungsquellen, Gaszufuhrsystemen und Substratheizungen. Als modulares System ermöglicht AMAT Centura 5200 MxP + die Anpassung der Prozesskammer an die Bedürfnisse des Kunden mit Optionen wie Magnetron Sputter Source, Cold-Cathode Source und Vari-Puls Sputter Source. Das Gerät ist auch mit herkömmlichen Metallisierungs- und Wet Clean Prozessen wie PECVD, PVD, ALD und CVD kompatibel. Der modulare Aufbau der Maschine ermöglicht es Anwendern, die Prozesskammerkonfiguration an ihre spezifischen Prozessanforderungen anzupassen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 MxP + ist ein äußerst zuverlässiges und reproduzierbares Werkzeug, das in einer Reihe von Konfigurationen erhältlich ist. Das Asset verfügt zudem über ein geringes Budget und eine schnelle Zykluszeit, die dazu beitragen, die Rentabilität zu maximieren und eine konsistente Prozessleistung zu gewährleisten. Die fortschrittlichen Qualitätskontrollmechanismen und Überwachungssoftware des Modells sorgen zudem dafür, dass jeder Schritt des Abscheideprozesses entsprechend überwacht und gesteuert wird. Der modulare Aufbau ermöglicht auch zukünftige Leistungsverbesserungen und Anpassungen nach Bedarf. Damit ist die Centura 5200 MxP + eine ideale Wahl für die unterschiedlichsten Anforderungen an die Halbleiterherstellung.
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