Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #293659851 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E
ID: 293659851
System (3) Chambers, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E ist eine Art plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (PECVD), der zur Bildung dünner Filme auf Wafern und anderen Substraten im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Der AMAT Centura 5200 Super-E Reaktor zeichnet sich durch hohen Durchsatz, überlegene Gleichmäßigkeit, präzise Steuerung und niedrige Betriebskosten aus und ist zu einer beliebten Wahl für Hersteller geworden, die Prozesszeiten reduzieren und die Qualität verbessern möchten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 Super-E produziert zunächst ein Plasma geladener Partikel mit einer entfernten Plasmaquelle. Dieses Plasma wird dann in die Reaktionskammer des Reaktors eingezogen, wo es mit den gleichzeitig eingebrachten chemischen Vorstufen wechselwirkt. Die Vorstufen reagieren, um den gewünschten Dünnfilm zu erzeugen, der beim Ziehen des Plasmas durch die Kammer langsam auf das Substrat abgeschieden wird. Centura 5200 Super-E-Reaktor bietet mehr Flexibilität als viele ähnliche PECVD-Systeme, indem der Benutzer zwischen mehreren verschiedenen Quellen von Plasma und verschiedenen Chemien für die Vorläufer wählen kann. Dies ermöglicht eine breitere Palette von verarbeitbaren Materialien, einschließlich Polysilizium für ultradünne Transistoren und eine Vielzahl von dielektrischen Filmen, die zum Isolieren und Schützen der Schaltungen verwendet werden. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E Reaktor bietet auch verbesserte Prozessgleichförmigkeit durch seine quadratische, oder „Planar“, Plasma-Resonanz-Kopplungstechnologie. Bei diesem System wird das Plasma innerhalb der Kammer mit einer gleichmäßigen HF-Leistungsverteilung über die gesamte Oberfläche des Wafers oder Substrats gehalten, was zu einer gleichmäßigeren Materialabscheidung während des Prozesses führt. Darüber hinaus ist der AMAT Centura 5200 Super-E auch für mehr Durchsatz und Prozesseffizienz ausgelegt. Es verwendet aufeinanderfolgende Duschkopfscheiben, die bis zu 25 Einzelstücke aufnehmen können, so dass Wafer schnell be- und entladen werden können. Dies beschleunigt den gesamten Prozess, ohne die Qualität der Abscheidung zu beeinträchtigen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E aufgrund seines hohen Durchsatzes, der überlegenen Gleichmäßigkeit, der Prozesseffizienz und der breiten Palette verarbeitbarer Materialien eine ausgezeichnete Wahl für die Halbleiterherstellung. Es ist auch sehr zuverlässig und kostengünstig, so dass es eine ideale Wahl für enge Budgets.
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