Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima #9355275 zu verkaufen
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ID: 9355275
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
HDP CVD System, 8"
NBLL Loadlock
HP Buffer robot
Chambers type:
Chamber A: Ultima STD
Chamber B: Ultima TE
Chamber C: Ultima STD
Chamber E: MSC
Chamber F: Orient
Missing parts:
Remote AC Rack
RF Rack
Cable
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima Reactor ist eine fortschrittliche Kristallwachstumsausrüstung, die für die anspruchsvollen Anforderungen von Forschung und industriellen Anwendungen in der Materialwissenschaft entwickelt wurde. Das System verspricht High-End-Leistung mit hohen Ausbeuten aus epitaktischen Wachstumsprozessen bei gleichmäßiger Temperatur, außergewöhnlicher Zykluswiederholbarkeit und extrem niedrigem Sauerstoffgehalt. Die Centura wird von einem Paar Hochleistungs-Diffusionspumpen angetrieben, die von einer geregelten Stickstoffgasversorgung gespeist werden, und ist in der Lage, eine breite Palette von Vorläufermaterialien zu handhaben. Es besteht aus zwei unabhängigen Prozesskammern, die durch eine gemeinsame Transferkammer verbunden sind. Eine Kammer ist dem Wachstum gewidmet, während die andere dem Reinigen, Be- und Entladen von Proben zugeordnet ist. Die Transferkammer dient als Puffer zwischen den beiden, was eine sichere und effiziente gasdichte Übertragung von Wafern zwischen Kammern ermöglicht. Jede Kammer der AMAT Centura 5200 Ultima ist mit einer eigenen Gas- und Temperaturregelung ausgestattet. Jeder hat seinen eigenen Temperaturregler mit einem Bereich von 200C bis 1000C und einem unabhängigen Satz von 16 hochpräzisen Massendurchflussreglern zur präzisen Durchflussregelung und unabhängigen Gasdurchflussregelung. Durch die Verwendung der Präzisionsregler kann die Durchflussmenge während des gesamten Prozesszyklus geregelt werden; die Centura ist in der Lage, ein enges Temperatur-Gleichförmigkeitsfenster aufrechtzuerhalten. Die High-End-Leistung des Centura ist auf sein fortschrittliches Design zurückzuführen. Zur Sicherheit und Zuverlässigkeit ist der Reaktor mit einer redundanten Abschaltmaschine versehen, die den Prozess unterbricht, wenn ein unerwartetes Ereignis eintritt. Das Werkzeug ist hauptsächlich vakuumversiegelt, was das Risiko einer Kontamination reduziert. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine automatische Einrichtung, die vorab gespeicherte Prozessprotokolle ermöglicht; dies ist nützlich für Automatisierung und Arbeitsersparnis. Die Spitzenleistung und Zuverlässigkeit der Centura machen sie zur idealen Wahl für fortgeschrittene Forschung und industrielle Anwendungen in der Materialwissenschaft. Die Leistung des Modells wird durch modernes Design und fortschrittliche Technik untermauert, was es zu einer attraktiven Wahl für Kunden mit anspruchsvollen Anforderungen macht.
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