Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9280941 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ Reaktor ist eine leistungsstarke Ausrüstung, die Prozessingenieuren ermöglicht, optimale Fertigungsergebnisse in hochvolumigen, fortschrittlichen Verpackungsoperationen zu erzielen. Diese Mehrstationen-Plattform verfügt über eine breite Palette von Funktionen, einschließlich Hochtemperaturregelung, Prozessgasautomatisierung, vollständige Regelung und schnellen Kammerumsatz. Das System ist in eine umfassende Prozessentwicklungs-, Produktions- und Charakterisierungslösung für verschiedene Anwendungen integriert, darunter 3D-NAND, Nanospeicher, MEMS, MEMS-Verpackungen und HF/Millimeterwellenprodukte. Der AMAT Centura 5200 WxZ Reaktor verfügt über ein vollständig anpassbares und erweiterbares Workstation-Design, mit dem Ingenieure ihren Betrieb routinemäßig nach oben oder unten skalieren können, um die Anforderungen der Kunden oder sich ändernde technologische Anforderungen zu erfüllen. Diese Flexibilität kann bis zu fünf Wafergrößen erzeugen und ermöglicht den schnellen Transfer zwischen Prozessschritten. Es verfügt auch über die weltweit kleinste temperaturgesteuerte Zone, die eine optimale Temperaturgenauigkeit und eine enge Temperaturregelung bei kritischen Prozessen ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 WxZ verfügt auch über eine Steuerungsschnittstelle der nächsten Generation, die die Effizienz von Prozessingenieuren maximieren soll, indem sie Bedieneraufforderungen und visuelle Eingabeaufforderungen beim Betrieb des Geräts bereitstellt. Der leistungsstarke High-Level-Controller und der intuitive Touchscreen bieten volle Fahrzeug-, Wafer- und Tool-Level-Steuerung mit Echtzeit-Daten-Feedback, was schnellere Reaktionen auf veränderte Produktionsszenarien und die Implementierung von Prozessverbesserungen ermöglicht. Der Reaktor hat auch die Fähigkeit, Prozessrezepte zu erfassen und zu speichern, Prozessrampenraten zu messen und in Datenarchiven zu verfolgen. Diese Maschine bietet auch ein benutzerfreundliches Gasliefermodul, mit dem Prozessingenieure ihre Gasströme anpassen und automatisieren können, was eine höhere Wiederholbarkeit und Genauigkeit im Betrieb ermöglicht. Die automatisierte Druckregelung des Features hält stabile Gasströme aufrecht und ermöglicht einen schnellen Verarbeitungsdurchsatz und Gleichmäßigkeit. Schließlich bietet der Centura 5200 WxZ Reaktor erweiterte Prozessoptimierungsfunktionen, sodass Prozessingenieure auf mehrere Prozessoptimierungskurven zugreifen können, um Temperaturgenauigkeit und Konsistenz sicherzustellen. Das Werkzeug umfasst auch eine eingebaute Chargenhebetechnologie für die schnelle Stanz- und Unterwerkzeugbearbeitung und eine vollautomatisierte Metrologiestation zur Feldniveaucharakterisierung.
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