Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #189437 zu verkaufen

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ID: 189437
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
CVD system, 6" Specifications: (2) chambers 8-slot cool down Wide body load locks BPSG PSG Undoped TEOS 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein fortschrittlicher Halbleiterproduktionsreaktor, der für den Einsatz in Produktionsanlagen mit hoher Kapazität entwickelt wurde. Der Reaktor ist auf der beliebten Centura-Plattform aufgebaut und wird in der Waferherstellung zur Abscheidung von Filmen und Oxiden auf Siliziumwafern verwendet. AMAT Centura 5200 ist hochgradig anpassbar und kann für verschiedene Prozesse konfiguriert werden, wie chemische Dampfabscheidung (CVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD) und atomare Schichtabscheidung (ALD). Es wurde entwickelt, um ultradünne Filmstrukturen auf einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen, einschließlich 3D-Speicherstrukturen, Sensoren, Photonik und Mikroelektronik. Der Kern von APPLIED MATERIALS Centura 5200 besteht aus einer fortschrittlichen Prozesskammer und einer effizienten bildgebenden Ausrüstung. Die Prozesskammer ist mit einer Turbomolekularpumpe, Proportionalventilen, Direkteinspeisegasmischung, Spektrometer und anderen Werkzeugen ausgestattet. Diese Funktionen ermöglichen es dem System, den Abscheidungsprozess in Echtzeit genau zu überwachen und sicherzustellen, dass die resultierenden Schichten die gewünschte Dicke und Gleichmäßigkeit aufweisen. Die bildgebende Einheit der Centura 5200 ist eines ihrer prägendsten Merkmale. Es wird von einer hochauflösenden Kamera angetrieben und hat die Fähigkeit, eine vollständige Bildanalyse der in der Kammer abgeschiedenen Schichten durchzuführen. Die Maschine verfolgt die Wirkung der Abscheidungsparameter auf die endgültige Struktur, so dass der Bediener in Echtzeit Anpassungen vornehmen kann, um die bestmöglichen Ergebnisse zu gewährleisten. Hinsichtlich der Leistung bietet die AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 gegenüber anderen Reaktoren ihrer Klasse mehrere Vorteile. Es hat einen geringeren Stromverbrauch und einen höheren Durchsatz, sodass größere Produktchargen in kürzerer Zeit verarbeitet werden können. Das Werkzeug ist auch sehr zuverlässig, in der Lage, Operationen für längere Zeit ohne Ausfallzeiten oder Wartung durchzuführen. Darüber hinaus kann die Anlage mit anderen Werkzeugen und Systemen kombiniert werden, um die Gesamtleistung der Produktionslinie weiter zu verbessern. Insgesamt ist AMAT Centura 5200 ein äußerst vielseitiger Reaktor, der entworfen ist, um den Bedarf von Halbleiterfertigungslinien der hohen Kapazität zu decken. Das präzise Abbildungsmodell, die anpassbare Prozesskammer und die umfangreichen Fähigkeiten machen es zu einer zuverlässigen und effizienten Lösung für die Abscheidung ultradünner Filme auf einer Vielzahl von Substraten.
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