Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #200144 zu verkaufen

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist eine Mehrkammerreaktorausrüstung, die integrierte Ätz- und Abscheidefunktionen für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente liefert. Es vereint Prozessflexibilität, automatisierte Leistung und hohen Durchsatz und eignet sich somit gut für Serienanwendungen in hohen Stückzahlen. Dieses System ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Abscheidungsprozessen bereitzustellen, einschließlich chemischer Dampfabscheidung (CVD), plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidung (PECVD), Atomschichtabscheidung (ALD) und mehr. Es kann auch in vertikaler und horizontaler Ausrichtung arbeiten, was eine größere Flexibilität im Bereich der Prozessintegration ermöglicht. Die Einheit besteht aus einer Dreikammerkonfiguration, wobei die obere Kammer die Quellen und Quellenhalter, die mittlere Kammer mit der Hauptprozesskammer und der die Abgasmaschine enthaltende Boden aufnimmt. Die Prozesskammer ist das Herzstück des Werkzeugs und befindet sich in einem vakuumdichten Gehäuse aus Niob, Titan und Edelstahl. Diese Kammer ist für den Betrieb zwischen 5 und 10 mTorr ausgelegt, was eine Vielzahl von Verarbeitungsparametern ermöglicht. Die Kammer verfügt über einen einstellbaren Quarz-Suszeptor, der eine gleichmäßige Abscheidung ermöglicht, und ein Verbesserungsset ist enthalten, um eine verbesserte reaktive Ionenätzleistung (RIE) zu gewährleisten. Eines der beeindruckendsten Merkmale der AMAT Centura 5200 ist die fortschrittliche Automatisierung. Diese Ressource ist in der Lage, Prozesse und Rezepte präzise zu steuern und die gewünschte Leistung zu gewährleisten. Das Automatisierungsmodell ermöglicht auch Fernwartungsunterstützung, Verbesserung der Prozesssteuerung und Beseitigung des Personalbedarfs im Reinraum. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau der Geräte eine einfache Anpassung an neue Prozessanforderungen und Schlüsselkomponenten sind in mehreren Konfigurationen verfügbar, was das System effizienter und vielseitiger macht. Insgesamt ist die Centura 5200 eine beeindruckende und zuverlässige Einheit für Serienanwendungen. Es bietet automatisierte Leistung, Präzision und hohen Durchsatz und bietet eine Vielzahl von Ätz- und Abscheideprozessen. Es ist auch vielseitig, energieeffizient und enthält erweiterte Automatisierungsfunktionen, so dass es eine beliebte Wahl für alle Arten von fortschrittlichen Halbleiterbauelementherstellung.