Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293607517 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein fortschrittliches Halbleiterbauelement, das speziell für Kupferanwendungen entwickelt wurde. Es handelt sich um ein Trockenätzreaktorsystem bestehend aus einem integrierten Reaktorteilsystem (IRS) und einem Multi-Reactor Subsystem (MRS). Das IRS besteht aus zwei Reaktoren, dem oberen Reaktor und dem unteren Reaktor und kann zur Verarbeitung von bis zu vierhundert verschiedenen Produkten konfiguriert werden. Die MRS besteht aus vier zusätzlichen unabhängigen Reaktoren, zwei in einer Konfiguration, die eine hohe und niedrige Produktion von Wafern ermöglichen. Der obere Reaktor ist ein Metall- und Siliziumoxid-Ätzreaktor, der entwickelt wurde, um Metall, Oxid, Nitrid und andere Filme präzise zu entfernen, ohne das darunter liegende Substrat zu beschädigen. Es handelt sich dabei um eine Ätzeinheit mit Hochfrequenzimpulsen in der Kammer, die ein gleichmäßiges Ätzen von Folien mit hohem Regelungsgrad gewährleistet. Der Untere Reaktor eignet sich sowohl für Standard-Ätz- als auch für hochdichte Plasmaätzprozesse und bietet Funktionen mit hohem Aspektverhältnis mit hoher Prozesswiederholbarkeit und -ausbeuten. Die Maschine bietet ein intuitives automatisiertes Softwaremodul mit integrierten Rezepten und Prozessoptimierung durch Echtzeit-Produktfeedback. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine erweiterte Diagnose, Prozessroutinen und Wartungspläne, die eine schnelle Fehlererkennung und -korrektur ermöglichen. Die Anlage ist sehr zuverlässig, effizient und kostengünstig, was sie zu einer großen Bereicherung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen macht. AMAT Centura 5200 ist ein überlegenes Trockenätzreaktormodell für Kupferanwendungen auf dem Markt für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Seine mehreren Reaktoren bieten Anwendern vielseitige Ätzfunktionen und Wiederholbarkeit der Prozesse. Darüber hinaus machen seine fortschrittliche Diagnose, Prozeßroutinen und Wartungspläne es zu einer hocheffizienten Ausrüstung, die seinen Kunden einen hohen Mehrwert bietet.