Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293614968 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200
ID: 293614968
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
System, 8" 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein Reaktor, der für fortschrittliche Prozessanwendungen zur Dünnschicht-Dielektrizitätsabscheidung, hauptsächlich bei der Herstellung integrierter Schaltungen, entwickelt wurde. Es ist ein Ätzwerkzeug im 200mm-Wafer-Bereich, das eine fortschrittliche Leistung mit einem hohen Grad an Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit bietet. Es handelt sich um ein geätztes System mit einer Substratorientierung, das durch Einbringen eines elektrischen Feldes auf die Oberfläche eines Dünnschichtmaterials, üblicherweise Siliziumdioxid, erzeugt wird. AMAT Centura 5200 ist vielseitig einsetzbar und unterstützt eine Vielzahl von Prozessen, darunter hohe Selektivität, kontakt- und berührungsloses Ätzen, Schichtabscheidung und Passivierungsoxidation. Es bietet auch Anwendungen mit hohem Durchsatz mit der Fähigkeit, bis zu sieben Prozessabläufe gleichzeitig durchzuführen. Darüber hinaus verfügt die APPLIED MATERIALS Centura 5200 über erweiterte Funktionen, die es ihr ermöglichen, ihre Prozessparameter genau zu steuern, einschließlich der Fähigkeit, die Gleichmäßigkeit des Ätzens genau zu steuern und die Wafertemperatur und den Druck zu steuern. Centura 5200 ermöglicht Anwendern eine höhere Prozessstabilität aufgrund seiner schnelleren und wiederholbaren Ätzzyklen. Es ist in der Lage, hohe Ätzerträge für anspruchsvolle Prozessanforderungen wie Gleichmäßigkeit und Tiefenkontrolle mit fortschrittlicher Feinabstimmung der Prozessparameter zu liefern. Es ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie lichtbogenfreiem Hochwasser, automatisierter Prozessüberwachung und Echtzeit-Ätzraten ausgestattet. Auch AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist einzigartig konfiguriert, um die hohen Durchsatzanforderungen für Dünnschichtabscheidung und Ätzen zu erfüllen. Seine fortschrittlichen Kühlsysteme ermöglichen hohe Abscheideraten und Kühlzeiten, die für Einzelwafer- oder Mehrfachwaferanwendungen konfiguriert werden können. Die fortschrittliche Temperaturregelung von AMAT Centura 5200 liefert einheitlichere und wiederholbare Ergebnisse als mit einem herkömmlichen System. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 ist ein robustes, gut entwickeltes System, das auch unter schwierigsten Bedingungen zuverlässige Ergebnisse gewährleisten kann. Es ist einfach zu warten, hat eine breite Palette von kompatiblen Materialien und kann in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen verwendet werden. Centura 5200 ist eine ausgezeichnete Wahl für Anwender, die nach einem zuverlässigen und fortschrittlichen Verfahren zum Ätzen und Dünnschichtabscheiden suchen.
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