Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9046127 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9046127
Wafergröße: 8"
RTP System, 8"
Divisional mainframe
(2) Load -locks
(2) Process chambers
(1) Cool-down chamber
Data logging capability
Wafer rotation: 90 rpm during anneal
Chamber heating: 187 tungsten-halogen bulbs in hexagonal pattern
Bulbs: 12 concentric zones (grouped)
Temperature controllers in software.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA 5200 ist ein Hochleistungsprozesserhöhungsreaktor, der konstruiert ist, um den strengen Standards der Halbleiterherstellung zu entsprechen. Es bietet eine Reihe von Funktionen, die die Produktivität steigern, Kosten minimieren und die Produktzuverlässigkeit optimieren sollen. AMAT Centura 5200 ist in der Lage, verschiedene Materialien, einschließlich Metalloid- und III-V-Verbindungen, in einer kontrollierten Umgebung schnell zu verarbeiten. Es verfügt über eine nichtmagnetische Edelstahlkammer und ein Paar robuster Quarzbälge und Waferträger für einen verbesserten Durchsatz. Das Gerät verfügt über ein Kühlgasverteilungssystem sowie eine adaptive Kühlung, die für gleichmäßige Temperaturen in der gesamten Kammer sorgt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 wurde entwickelt, um Zykluszeiten zu reduzieren, Ressourcen zu schonen und die Produktqualität zu verbessern. Es verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-Vertikal-Lift und Low-Elevation Be- und Entladung Design, die Zykluszeiten deutlich reduziert. Das Gerät verfügt zudem über einen ausgeklügelten Thermoregler mit adaptiver Linearisierungssteuerung, verbesserter Prozesssensortechnik sowie einer Vakuum-Selbstreinigungsmaschine, die eine genaue, konsistente und wiederholbare Leistung gewährleistet. Centura 5200 wurde entwickelt, um den Anforderungen der Hersteller gerecht zu werden, die eine hohe Produktivität erfordern. Es ist mit fortschrittlichen Bewegungssteuerungssystemen ausgestattet, die präzise Bewegungen sowie Hochgeschwindigkeitslifte und Be-/Entlademechanismen gewährleisten. Das Werkzeug bietet außerdem eine verbesserte Prozessgeschwindigkeit und Präzision sowie eine verbesserte Waferausbeute und Gleichmäßigkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist eine leistungsstarke Wahl für Halbleiterhersteller, die Zykluszeiten reduzieren und die Produktzuverlässigkeit verbessern möchten. Es ist so konzipiert, dass es in der Lage ist, verschiedene Materialien zu verarbeiten und eine Reihe innovativer Funktionen umfasst, die die Produktivität steigern, Kosten minimieren und die Produktqualität optimieren sollen.
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