Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9071275 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9071275
Wafergröße: 8"
Epi Reactor, 8"
Application: Sige Bipolar/BICMOS
Chamber type | Selected option:
Chamber A: (RH) Reduced pressure EPI
Chamber B: (RH) Reduced pressure EPI
Chamber C: (RH) Reduced pressure EPI
Chamber D: Empty
Chamber E: Empty
Chamber F: (CA) Single slot cooldown
EMO Guard ring
Chamber A/B/C:
Thickness control options: Accusett 2
Recipe control software: No
Third manometer: P/N 0220-35949, 200 Torr
Gas line isolation: Yes
Leak check port: None
RGA port and valve: None
Gas delivery options:
ATM Capability in GP Only: No
Gas panel type: Configurable
Gas panel exhaust: Chamber B side
MFC: P/N: 0221-18389, Unit 8561 MFC's
Filter: Millipore
Pump purge: Yes
Chamber A/B/C Gas Option:
SiHCl3: Not applicable
SiH2Cl2: Yes
SiH4: Yes
GEH4: Yes
Direct inject dopant: 2
Mixed dopant 1: Yes
Mixed dopant 2: Yes
Mainframe:
Loadlock type: P/N: 0220-35948 Narrow body load locks with tilt-out
WBLL Equalization: No
Cassette platform type: Universal
Common chamber options:
Variable speed blower: Yes
SW Monitor quartz pyrometer kit: 3
Lamps type: Ushio log life
Susceptors: Tabbed susceptor
Brands: Toshiba
Lift pin type: Hollow silicon carbide
Susceptor support shaft: NCP Susceptor support shaft
Tips: Silicon carbide removable tips
Exhaust inserts: Stainless steel
Lower liners: Non-vented
Pump isolation valve: No
Exhaust deposit reduction: N/A
Transfer chamber:
Wafer sensing: On the fly cneterfinding
Transfer chamber lid hoist: Yes
Robot: HP + ENP
Transfer chamber purge, 15 SLM: Yes
Diagnostics and control:
SECSTrace: Yes
Vacuum pumps:
Pump brand: Edwards
Loadlock chamber pump: Edwards iQDP40
Transfer chamber pump: Edwards iQDP40
Proces chamber pump: Edwards iH1000
Monitors: (1) Through the wall and (1) Table mount
Manual Set
Tools and kits:
Centura HT Temp profiling kit
Upper dome centering ring kit
HT Level 1 Consumable kit
(2) Additional Level 1 consumable kit
Additional Epi quartz and graphite spares:
(2) Reduced pressure upper dome
(2) Lower dome
(4) Spare susceptors
(4) Preheat rings
Manually input spare:
P/N: 3920-01120, 10-120 lb-in torque wrench
480 V with transformer, 60 Hz, 600 A
Currently installed
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist eine Reaktorausrüstung, die für den Einsatz in fortschrittlichen galvanischen, ätzenden und dielektrischen Verarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist mit hochpräzisen photolithographischen Masken für die Musterbearbeitung ausgestattet. Das System wurde entwickelt, um physikalische und chemische Behandlungen über große Bereiche von Substraten schnell und effizient anzuwenden. AMAT Centura 5200 ist mit einer dicken Edelstahl-Außenschale konstruiert, die einen zuverlässigen und langlebigen Schutz vor Korrosion und anderen Umweltbedingungen bietet. Im Inneren der Schale werden modernste Steuermodule und eine Robotertransporteinheit eingesetzt, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit in den Prozessen der Maschine zu gewährleisten. Das Werkzeug verfügt auch über eine automatisierte Reihe von Pumpen, Ventilen und anderen Bewegungssteuerungskomponenten, um eine zuverlässige und genaue Materiallieferung zu gewährleisten. Die Anlage kann verschiedene Arten von Badkonfigurationen sowie eine Vielzahl von Substratmaterialien aufnehmen, so dass es für verschiedene Anwendungen geeignet ist. Zusätzlich kann der Anwender je nach verarbeitetem Material die passende Chargendauer und Prozessparameter auswählen. Das Modell unterstützt auch eingebettete programmierbare Logik, die es ermöglicht, alle notwendigen Parameter für den spezifischen Prozess zu überwachen und zu steuern, so dass die Prozessbedingungen besser kontrolliert werden können. Der Reaktor bietet einen weiten Bereich der Betriebstemperatur von RT (Raumtemperatur) bis 350 ° C und die maximale Durchflussrate von 175 l/min; Sie eignet sich für Hochgeschwindigkeits- und Hochgenauigkeitsbeschichtungsprozesse. Der Benutzer kann auch benutzerdefinierte Parameter wie die gewünschte Verdampfungsrate angeben, und das Gerät kann alle Prozessergebnisse für die zukünftige Referenz erkennen und speichern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 ist ein zuverlässiger Reaktor, der mit fortschrittlicher Technologie ausgestattet ist, um genaue, wiederholbare und effiziente Beschichtungs-, Ätz- und dielektrische Prozesse bereitzustellen. Es kann leicht konfiguriert werden, um viele verschiedene Arten von Substraten und Badkonfigurationen zu handhaben, so dass es ein zuverlässiger und vielseitiger Reaktor ist.
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