Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9096242 zu verkaufen
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ID: 9096242
Weinlese: 2008
Oxide etcher, 8"
Wafer type: SNNF
(2) Chambers: MXP
Load locks: wide body
Software Version: E3.7
Short Controller
Auto Rotation
Orienter Lid Hinge: present
Narrow Hoop Orienter: present
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein voll funktionsfähiger Reaktor, der hauptsächlich bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist eine vollautomatische, computergesteuerte Ausrüstung, die mehrere Prozesse gleichzeitig ausführen kann. Auf diese Weise kann eine Vielzahl von Komponenten schnell und präzise mit gleichbleibender Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit hergestellt werden. AMAT Centura 5200 ist ein Vorverdampfer-Ätzsystem, das eine Hochvakuum-Plasmakammer und Halbleitermaterialien verwendet, um mit hoher Präzision und Geschwindigkeit zu reinigen und zu ätzen. Das Gerät verfügt über eine Wafer-Transfermaschine, die mehrere Wafer gleichzeitig aufnehmen kann und eine schnelle und effiziente Handhabung großer Materialmengen ermöglicht. Dieses Übertragungswerkzeug ermöglicht auch eine effiziente Positionsreferenz und Aufrechterhaltung der Gleichmäßigkeit von Ätzparametern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die fortschrittliche Plasmaätztechnologie von Centura 5200 bietet eine zuverlässige und genaue Kontrolle der Ätzraten und ermöglicht ein konsistentes, gleichmäßiges Ätzen auf der Waferoberfläche. Der umfassende Satz von Prozessparametern gewährleistet eine präzise Kontrolle der Ätzchemie, erhöht die Geschwindigkeit und Genauigkeit des Ätzens und minimiert Ungleichmäßigkeiten auf der Waferoberfläche. Das Asset bietet zudem eine vollständige Rückverfolgbarkeit des Ätzprozesses und zeichnet jeden beim Ätzen verwendeten Parameter auf. Darüber hinaus ist Centura 5200 in der Lage, andere Funktionen wie Schichtabscheidung, Abscheidung von Photoresist und Oxidmaterial und Oxidabscheidung auszuführen. Seine hochgenaue Prozesssteuerung des geschlossenen Regelkreises, die mit seinen automatisierten Eigenschaften verbunden ist, macht es passend für eine breite Reihe von hoch entwickelten Halbleitergerätherstellungsprozessen. Das Modell ist auch in der Lage, verschiedene Arten von Wafern zu handhaben, einschließlich Standard-Siliziumscheiben, Galliumarsenid, Saphir und Quarz. Dies macht es zu einem idealen Werkzeug für Serienläufe, die eine breite Palette unterschiedlicher Substratmaterialien erfordern. Darüber hinaus ermöglicht die vielseitige Software dem Anwender, Ätzparameter und -prozesse schnell zu ändern, was für die Quick-Turn-Produktion nützlich ist. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ein fortschrittliches, benutzerfreundliches und zuverlässiges Werkzeug zur Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente und -komponenten mit außergewöhnlicher Geschwindigkeit und Genauigkeit.
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