Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9181378 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein Mehrkammerreaktor für eine Reihe von Produktionsprozessen in der Halbleiterindustrie, einschließlich Ätzen, Abscheiden und Ionenimplantation. Das Gerät ist in der Lage, bis zu 12 Wafer gleichzeitig zu verarbeiten und leistungsfähige Produktionsraten zu bieten. Der 5200 verfügt über separate Vakuum-, Inertgas- und Chemikalienmanagementsysteme für jeden Prozessbehälter. Es umfasst auch eine physikalische Dampfabscheidung (PVD), eine Elektronenzyklotronresonanz (ECR) und mehrere elektrostatische Klemmsysteme (ESC). Der ESC ermöglicht es dem Reaktor, die Plasmaparameter genau zu steuern, was zu besseren Ätz- und Abscheidungsergebnissen führt. Der 5200 wurde unter Berücksichtigung der Kompatibilität konzipiert und ermöglicht es Betreibern, ihn in jede Art von Halbleiterverarbeitungssystem zu integrieren. Schnittstellen von AMAT Centura 5200 können an den Computer der Anlage angeschlossen werden, um die Kommunikation zwischen den Geräten und den Betreibern zu gewährleisten. Dadurch können die Bediener mehrere Parameter gleichzeitig überwachen, was eine verbesserte Prozesssteuerung und Waferausbeute ermöglicht. Der 5200 enthält auch eine grafische Benutzeroberfläche, die erweiterte Alarme enthält, die den Betreiber auf mögliche Probleme oder Probleme aufmerksam machen. Der 5200 ist einer der fortschrittlichsten Reaktoren auf dem Markt und bietet eine Vielzahl von Prozessvorteilen. Es verwendet hochmoderne Plasmaantriebs- und Gleichförmigkeitstechnologie, die den Anwendern einen höheren Durchsatz und eine höhere Wiederholbarkeit der Prozesse ermöglicht. Der 5200 verfügt auch über eine erweiterte Endpunkterkennungseinheit, die zum Beenden von Radierungen ausgelegt ist, bevor sie Schäden am Wafer verursachen. Darüber hinaus verfügt es über erweiterte Gassteuerungsfunktionen, einschließlich Endgas-Durchflussmodulation, ECR-Fähigkeiten und Reaktivgasmischung. Der 5200 wurde entwickelt, um alle anwendbaren Sicherheitsanforderungen zu erfüllen, so dass er zuverlässig und sicher ist. Die Maschine ist konform mit NFPA-Standards, einschließlich NFPA 85, NFPA 86 und NFPA 496. Darüber hinaus verfügen Sicherheitsfunktionen über einen Roll-Back-Mechanismus zur Beseitigung von Überätzungen, fortschrittlicher Reiseüberwachung und erweiterter Fehlerverriegelungskonfigurationen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Centura 5200 ist aufgrund ihrer fortschrittlichen Technologie und Sicherheitsmerkmale eine ideale Wahl für die Halbleiterindustrie. Es bietet Anwendern die höchste verfügbare Durchsatz- und Prozesswiederholbarkeit sowie einen zuverlässigen und sicheren Betrieb.