Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9184781 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein Reaktor des Typs LPCVD (Single-Wafer) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für die Herstellung von nanoskaligen Festkörperkomponenten, die in einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen eingesetzt werden. Sie weist eine flexible Prozesskammer auf, die für die Abscheidung unterschiedlichster Folien, darunter Silizium (Si) -Folien, Nitridfolien und Neutralsiliziumfolien, konfiguriert werden kann. Es verfügt auch über einen Hochleistungs-HF-Generator, der es dem Bediener ermöglicht, die Konzentration von Ionen in den Plasmen genau zu steuern. AMAT Centura 5200 ist ein Multi-Tool-Reaktor, der überlegene Abscheidungsgleichförmigkeit und Prozesssteuerungserträge für die Herstellung von Halbleiterdüsen für hochentwickelte Technologieknoten bieten kann. Der Reaktor reduziert die Betriebskosten durch eine einfach zu bedienende intuitive Benutzeroberfläche und vorprogrammierte Rezepte. Die effiziente automatische Waferaustauschstation ermöglicht eine schnelle Jobumschaltung und Waferdurchsätze von bis zu 81 Wafern pro Stunde im AMAT High Throughput Mode. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura 5200 bietet überlegenes thermisches Management durch Kammerkühlung und simulierte thermische Diffusion. Dies ermöglicht eine hohe Abscheiderate bei gleichbleibenden Filmdicken über das gesamte Substrat und schnellen Prozesszeiten. Der Kammerdruck wird mit einstellbaren Leitblechen niedrig gehalten, wodurch die Prozesskammer schneller eine höhere Temperatureinheitlichkeit erreicht. Centura 5200 wurde entwickelt, um mit Fünf-Achsen-Steuerung, einem Laser-Wafer-Mapping-System und fortschrittlicher Wafer-Handling-Technik einen extrem niedrigen Defekt zu erreichen. Die integrierte Fast Fourier Transform (FFT) Spectroscopy Technologie sondiert die Homogenität des Substrats während des Prozesses. Die Echtzeit-Prozesssteuerungsfunktion des erweiterten Tools ermöglicht es dem Bediener, Abscheidungsungleichförmigkeiten schnell zu erkennen und die Parameter für eine bessere Verarbeitung in wenigen Minuten anzupassen. Durch die Integration von Prozessüberwachungsfunktionen und Flexibilität ermöglicht die AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 einen verbesserten Ertrag und Durchsatz sowie eine beschleunigte Time-to-Market selbst an den anspruchsvollsten Knoten. Dies macht das Werkzeug für Gerätehersteller und Forschungsinstitute für die Herstellung von nanoskaligen Komponenten äußerst attraktiv.