Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9251052 zu verkaufen
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ID: 9251052
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2005
CVD System, 8"
WXZ (4) Chambers
2005 vintage.
AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA 5200 ist eine fortgeschrittene, Unterdrucksingleoblatenreaktorausrüstung, die entworfen ist, um plasmabasierte Qualitätsdünnfilmabsetzung für den fortgeschrittenen zu liefern, mikroelektronisch, MEMS und optoelektronische Anwendungen. Das System nutzt bewährte AMAT-Verarbeitungstechnologie, um eine gleichmäßige, fehlerfreie Filmabscheidung für zeitkritische Prozessschritte wie Gateätzen oder Abscheiden von Schutz- oder Planarisierungsschichten zu ermöglichen. AMAT Centura 5200 ist mit einer Vielzahl von Abscheidungsquellen ausgestattet, einschließlich Elektronenzyklotronresonanz (ECR) oder induktiv gekoppelten Plasma- (ICP) -Quellen, zusammen mit einem hochauflösenden Wirbelstrom-Magnetfeld, um eine gleichmäßige und wiederholbare Filmabscheidung zu ermöglichen. Dieses Gerät verwendet ein hochmodulares, skalierbares Design, um mehrere Quellkonfigurationen zu ermöglichen. Eine Vielzahl von Quellen-Anpassungen stehen zur Verfügung, um die Abscheidung bestimmter Dünnschichtschichten und -merkmale zu erleichtern. Die Maschine verfügt über einen außergewöhnlich hohen Durchsatz von 500 Wafern/Stunde und trägt zur Maximierung der Produktionseffizienz bei. Darüber hinaus trägt die fortschrittliche Substrattemperaturregelung dazu bei, thermische Belastungen zu minimieren und auch für empfindliche Substrate konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Diese Temperaturregelung hilft APPLIED MATERIALS Centura 5200, das Rätselraten aus temperaturempfindlichen Anwendungen zu ziehen und minimiert die Anzahl der Prozessschritte. Darüber hinaus verfügt das Tool über ein integriertes Plasma Control Asset (PCS) zur zuverlässigen Steuerung der Plasmaquelle, das eine präzise Abstimmung und Feinabstimmung der Prozessparameter ermöglicht. Mit integrierter Endpunktüberwachung können Anwender verschiedene Parameter wie Gasverbrauch, Druck, HF-Leistung und Temperatur während des Abscheidungsprozesses überwachen und analysieren. Dadurch wird sichergestellt, dass der Prozess den höchsten Standards entspricht und das Modell auf Höchstleistung läuft. Für zusätzlichen Komfort verfügt die Centura 5200 über ein integriertes Lastschloss, mit dem die Geräte in einer Serienproduktionsumgebung betrieben werden können. Diese Lastsperre und ihre Hochdurchsatzfunktionen machen AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene Produktionsumgebungen, die ihre Produktionsleistungen schnell und effizient skalieren möchten. Insgesamt ist die AMAT Centura 5200 eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen. Seine Skalierbarkeit und Flexibilität, kombiniert mit seiner fortschrittlichen Plasmakontrolle, dem hohen Durchsatz und der Temperaturregelung machen es zur perfekten Wahl für anspruchsvolle Produktionsanwendungen in der Mikroelektronik und Optoelektronik.
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