Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9251054 zu verkaufen
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ID: 9251054
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2005
CVD System, 8"
WXZ (4) Chambers
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist eine hochentwickelte und zuverlässige Halbleiterabscheidungsausrüstung, die den Anforderungen der modernen Halbleiterindustrie gerecht wird. Das System wurde entwickelt, um überlegene Leistung, hohe Prozessgeschwindigkeit und hervorragende Ergebnisse zu liefern, auch mit hohem Durchsatz und großen Substraten. Die Einheit basiert auf den neuesten schichtweisen Materialabscheidungstechnologien und ermöglicht die Abscheidung mehrerer Schichten gleichzeitig. Die AMAT Centura 5200 ermöglicht eine präzise Materialabscheidung mit hoher Gleichmäßigkeit, hoher Konformität und minimaler Verschmutzung über die gesamte Substratoberfläche. Die Maschine verwendet ultrapräzise Komponenten, wie geschlossene Schleife Laser-Nivellierung und präzise Abscheiderate Überwachung, um eine konsistente und zuverlässige Abscheidung von Folien zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht das Roboterlastschloss des Werkzeugs ein schnelles und automatisiertes Be- und Entladen und Übertragen von Substraten. Das Asset ist auch mit einer Multi-Source-Quellkammer mit mehreren Konfigurationen ausgestattet. Dies ermöglicht die gleichzeitige Abscheidung von bis zu vier verschiedenen Materialien gleichzeitig, was eine präzise Dickenregelung und eine hohe Abscheidegeschwindigkeit ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Centura 5200 ist extrem leistungsstark und bietet Ausgangspegel von 3,6 nmol/min mit einer Filmrate von 0,023 nm/min. Für zusätzliche Flexibilität ist das Modell auch in der Lage, mit mehreren Frequenzen zu laufen und hat einen großen Temperaturbereich. Centura 5200 bietet auch erweiterte Steuerungsfunktionen. Es verwendet eine verteilte Computerarchitektur, mit mehreren eingebetteten Computern in verschiedenen Komponenten der Ausrüstung integriert. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter des Systems, wie Gasdruck und Plasmaleistung. Darüber hinaus bietet es Daten-Protokollierung, alarmierende und Echtzeit-Reporting-Funktionen für noch einfachere Bedienung. Alles in allem ist die AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ein fortschrittliches, zuverlässiges und hochgradig anpassbares Werkzeug für die Abscheidung von dünnen Filmen. Es ist in der Lage, hervorragende Ergebnisse zu erzielen und kann Halbleiterherstellern helfen, ihre Produktivität zu steigern und ihre Prozesse zu optimieren.
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