Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9364581 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein hochentwickelter und vielseitiger Halbleiterverarbeitungsreaktor, der für Anwendungen zur Isolierung nach dem Gate, Salizid und atomaren Schichtabscheidung (ALD) entwickelt wurde. Es ist die Industriestandard-Abscheidungsausrüstung, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Dieser Reaktor wird hauptsächlich bei der Herstellung von Dünnschichttransistoren, Halbleitern, Leuchtdioden, Sensoren und anderen Halbleiterbauelementen eingesetzt. Die AMAT Centura 5200 ist modular aufgebaut, reduziert den Bedarf an komplexen Einzelwafer-Transferarmen und ermöglicht eine effizientere Ausführung. Es verfügt auch über mehrere erweiterte Funktionen, darunter eine modulare, automatisch ausrichtende Quelle und Ziel, kapazitiv gekoppelte Plasma (CCP) -Etch, entfernte Plasmaquelle (RPS) für Ultra-Niederdruck-Abscheidung und ein integriertes magnetisches Confinement-Plasmasystem (ICP) für hohe Ätzraten. Dies macht es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, einschließlich konventioneller thermischer Oxidation, Hochgeschwindigkeitssputterabscheidung und Hochtemperaturabscheidung von Siliziumnitrid. Mit seiner Niedertemperatur-Gasfördereinheit bietet die APPLIED MATERIALS Centura 5200 eine sehr gleichmäßige, konforme Dünnschichtabscheidung für die Verarbeitung von High-End-Halbleiterbauelementen. Es ist in der Lage, Funktionen so dünn wie 15 Angström im Durchmesser zur Verfügung zu stellen, so dass es ideal für Gate-Isolationsschichten und Kontaktschichten. Die Vakuumumgebung von Centura 5200 ermöglicht auch eine hochpräzise und wiederholbare Verarbeitung von Dielektrika, Metallen und anderen Materialien. Die Maschine ist auch in der Lage, direkt mit einer Reihe von Ätzquellen zu verknüpfen, einschließlich Plasma-Source-Ionen-Implantation (PSII), Plasma-Etch Deep Reactive Ion Etching (DRIE) und Reactive Ion Beam Etching (RIBE). AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 bietet auch eine Reihe von automatisierten Steuerungssystemen, so dass Bediener auf hohem Niveau verschiedene Rezepte mit minimaler Bedieneraufsicht durchführen können. Es verfügt über eine vollständige Palette von visuellen Inspektionen, Machine-Learning-Funktionen, mehrere Ofen Konfiguration, und eine breite Palette von Probe Vorbereitung Algorithmen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Geräteergebnisse konsistent und reproduzierbar sind. Zusammenfassend ist AMAT Centura 5200 ein hochentwickeltes und vielseitiges Werkzeug für Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, darunter modulares Design, AVS und RPS für Ultra-Niederdruck-Abscheidung, Niedertemperatur-Gas-Lieferbestandteil, mehrere Ofenkonfigurationen und automatisierte Steuerungssysteme. Dadurch eignet es sich hervorragend zur Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente.