Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9401872 zu verkaufen
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ID: 9401872
Weinlese: 1996
Dry etch cluster
(3) Process chambers
RF Supply cabinet containing
RFPP LF10A RF Supply
RFPP RF20R RF Supply
(3) ENO IEM-12B3 RF Generators
(4) BOC EDWARDS QDP80 Vacuum pumps
(2) BOC EDWARDS QDP40 Vacuum pumps
(3) NESLAB HX 150-CHX Recirculating chillers
NESLAB Steelhead 1 CHX recirculating chiller
Power supply: 208 V, 60 Hz, 139 kVA
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein Reaktor für die Herstellung von Halbleiterprozessen. Es wurde speziell entwickelt, um elektrochemische Kupferabscheidung, kupferchemisches mechanisches Polieren und elektrochemische Kupferätzverfahren zu unterstützen. Die Kammer hat die Fähigkeit, Wafer in der Größe von 150mm bis 300mm zu verarbeiten. AMAT Centura 5200 verfügt über eine robuste Plattform mit optimierter Einheitlichkeit, Wiederholbarkeit und unübertroffener Ausstattungsflexibilität. Unabhängige, driftarme, dynamische und statische Netzteile sorgen für Präzision und Stabilität. Fortschrittliche Galvanikchemie, zusammen mit einzigartigen Dualelektroden-Tuning- und Prozessüberwachungsstrategien, bieten eine überlegene Pulsformsteuerung, um die Variation zu reduzieren und die Gleichmäßigkeit weiter zu verbessern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Centura 5200 arbeitet in einem warmwandigen Design, das die fortschrittliche Prozessentwicklung erleichtert und die Leistung optimiert. Ein modularer Werkzeugbausatz ermöglicht auch die Prozesserweiterung und -entwicklung sowie einen verbesserten Durchsatz. Das vollautomatische Gaszufuhrsystem von Centura 5200 und die fortschrittliche zweistufige Wascheinheit sorgen für eine überlegene Gaskontrollkonsistenz und Genauigkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 verfügt auch über eine fortschrittliche Prozessüberwachungsmaschine, das TELED® Tool, das eine Edge BIOS® Bild- und Prozessstatusdatenbank enthält. Dieses Asset kann Rezept-Änderungen, Drift-Werte, Modellzustand und Trends in allen Prozessen schnell überwachen und bietet eine umfassende Kontrolle von der ersten Kalibrierung bis zur späteren Wartung und Optimierung. Diese überlegene Steuerung und Flexibilität positioniert AMAT Centura 5200 als ideale Lösung für eine Vielzahl von Anforderungen an die Herstellung von Halbleiterprozessen. Es ist sehr zuverlässig, effizient und optimiert für höchste Präzision, Gleichmäßigkeit und Geschwindigkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Centura 5200 ist ein revolutionäres Halbleiterbearbeitungswerkzeug und ein entscheidendes Element für die Halbleitertechnik.
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