Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9401874 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 ist ein leistungsstarker Mehrzweckreaktor für die Serienproduktion von Halbleiterbauelementen. Mit einer maximalen Prozesstemperatur von 650 Grad Celsius und einer ultrahochreinen Stickstoff- und Wasserstoffatmosphäre bietet diese Kammer höchste thermische Stabilität und Sauberkeit für anspruchsvollste Ätz-, Abscheide- und Verunreinigungsanwendungen. AMAT Centura 5200 ist mit mehreren fortschrittlichen Technologien ausgestattet, einschließlich Multimode-Plasmaquelle und extreme Hochtemperaturfähigkeit, so dass Benutzer eine Vielzahl von fortschrittlichen Prozessen gleichzeitig für maximale Produktivität durchführen können. Die Quelle ist in der Lage, eine breite Palette von Low-Power-Plasma, Ionenbeschuss und Hochleistungs-HF-Plasma für Ätz-, Stripp- oder Implantationsprozesse zu produzieren. Bei einem beeindruckenden Druck von 30kg/cm ² ermöglicht der Vollkeramik-Tiegel sechs elementare Gasspaltventile eine präzise Steuerung und Regelung des Prozessflusses. Der Hochtemperaturofen liefert präzise gehaltene und geregelte Temperaturen, während das mechanische Inspektionsfenster aus einem Aussichtspunkt und einem Strahlenschild besteht, um Anwender vor gefährlichen Bedingungen zu schützen. Die Temperaturgleichförmigkeit und Temperaturstabilität wird durch eine intuitive Temperaturregeleinrichtung aus mehreren internen und externen Sensoren aufrechterhalten. Ein fortschrittlicher und leicht programmierbarer digitaler Monitor ermöglicht es Benutzern, eine Vielzahl von Parametern wie Kammergaszusammensetzung, Schüsseldruck, Gasfluss und Substrattemperatur zu überwachen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Das Kühlsystem der Centura 5200 ermöglicht eine zuverlässige und gleichmäßige Kühlung verschiedener Teile der Kammer und kann auf die spezifischen Prozessanforderungen zugeschnitten werden. Darüber hinaus ist die Kammer mit mehreren montierten Komponenten ausgestattet, um eine einfache und saubere Installation, Wartung und Verlagerung zu erleichtern. Schließlich sorgt eine Inkammer-Isoliereinheit dafür, dass Prozessverluste und Verschmutzungen minimiert werden und eine integrierte Luftreinigungsmaschine für eine sichere Arbeitsumgebung sorgt. So bietet die Combined Centura 5200 ein unschlagbares Preis-Leistungs-Verhältnis, das es einer Vielzahl von Anwendern ermöglicht, von ihrem fortschrittlichen Feature-Set zu profitieren.