Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #293704588 zu verkaufen
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ID: 293704588
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
EPI System, 12"
(2) Chambers
EFEM
Factory interface
(2) TDK Load ports
YASKAWA Robot
Wafer aligner
ACM MF with batch L/L
FES
FIS
RTS
(2) Gas pallets
(2) Batch load locks
(2) Cooling stations
VHP Robot
Single arm
Facility tray
Upper frame
Cooling module
Gas panel remote with controller
Chamber AC Rack
UI Touch screen
Stand
H2/N2 Pallet
Cover
Door
Water box
Miscellaneous parts
Process kits
Chamber A:
HORIBA Z500 Mass Flow Controller (MFC)
Gases / Flow
H2 / 100 SLM
H2 / 30 SLM
HCL / 500 SCCM
PH3 / 500 SCCM
HCL / 20 SLM
DCS / 500 SCCM
Chamber C:
UNIT INSTRUMENTS Mass Flow Controller (MFC)
Gases / Flow
H2 / 100 SLM
H2 / 30 SLM
HCL / 500 SCCM
PH3 / 500 SCCM
HCL / 20 SLM
DCS / 500 SCCM
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP ist eine automatisierte Reaktorausrüstung mit hohem Durchsatz, die von AMAT für die Verarbeitung fortschrittlicher Material- und Gerätestrukturen entwickelt wurde. Das System soll es Forschern und Wissenschaftlern ermöglichen, schnell mit Prozessparametern zu experimentieren, neue Materialien zu erstellen und zu verfeinern und höhere Erträge in komplexen Produktionsprozessen zu erzielen. Die Einheit verfügt über integrierte Komponenten und Prozesse, einen Prozessrobotikkern und eine intelligente Automatisierung, die die Entwicklung von branchenführenden Substraten, fortschrittlichen Materialien und Gerätestrukturen ermöglicht. AMAT Centura ACP Reaktormaschine wird von einem einzigartigen und innovativen Prozessroboterkern, genannt pRobot, angetrieben. Dieser Kern ist verantwortlich für eine effektive und zuverlässige Automatisierung der Prozesse und Operationen des Werkzeugs. Der pRobot enthält ein Netzwerk elektronisch gesteuerter Roboterarme, mit denen Benutzer eine Vielzahl von Asset-Parametern und -Prozessen fernüberwachen, verwalten und steuern können. Dieser Kern trägt dazu bei, dass das Modell zuverlässig und konsistent arbeitet und Benutzer Prozessschemata bei Bedarf einfach und schnell neu konfigurieren oder ändern können. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura ACP Ausrüstung verfügt auch über erweiterte Werkzeugüberwachungs-, Automatisierungs- und Substratverfolgungsfunktionen. Diese erweiterten Funktionen helfen, Substratschäden zu minimieren, die Zykluszeit zu optimieren, Gesamtkosten zu reduzieren und eine genaue und zuverlässige Herstellung von Produktstrukturen sicherzustellen. Darüber hinaus ist das System so konzipiert, dass es fernüberwacht und betrieben werden kann, sodass die Bediener leicht über den aktuellen Status und die Leistung des Geräts informiert bleiben können. Diese Echtzeit-Überwachung ermöglicht es den Betreibern, schnell auf Änderungen der Prozessbedingungen zu reagieren und sicherzustellen, dass die Prozesserträge maximiert werden. Centura ACP Reaktormaschine bietet Anwendern ein hohes Maß an Flexibilität mit seiner Vielzahl von Prozessoptimierungswerkzeugen. Dazu gehören Software-Tools für die Substratvorbereitung, thermische Kartierung, Flatrate Scheduling, optimiertes Prozessmanagement und vieles mehr. Darüber hinaus verfügt das Tool über Tools wie Zyklusrezepte, Endlinienaufzeichnung und Optimierungsberichte. Mit diesen fortschrittlichen Tools können Sie sicherstellen, dass das Asset für die Automatisierung optimiert ist, sodass Benutzer eine Vielzahl von Substraten schnell und präzise bearbeiten und ihre fortschrittlichen Fertigungsanforderungen erfüllen können. Insgesamt ist das Centura ACP-Reaktormodell von AMAT/APPLIED MATERIALS ein fortschrittliches und hocheffizientes Werkzeug, das Anwendern bei der Erstellung und Entwicklung fortschrittlicher Substrate, Materialien und Gerätestrukturen hilft. Es wurde entwickelt, um hohe Erträge, konstante Leistung und zuverlässige Automatisierung zu gewährleisten. Darüber hinaus helfen die anspruchsvollen Werkzeuge und Dienstprogramme des Geräts Anwendern, Prozesse schnell und einfach zu entwickeln und zu verfeinern. Das System ist eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Forschungs- und Produktionsanwendungen.
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