Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler #293637141 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler
ID: 293637141
Wafergröße: 12"
Dielectric etchers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler ist ein fortschrittlicher Reaktor für die Herstellung von Halbleitern in einer Reihe von Waferproduktionsprozessen. Dieser Reaktor vereint hohen Durchsatz, niedrigen Druck und ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit, um die höchste Ausbeute an Geräten zu ermöglichen. Es ist das ideale Werkzeug für Klein- und Großserienprozesse. AMAT Centura AP Enabler verwendet ein innovatives Reaktorkammerdesign mit einem Temperaturbereich zwischen -90 ° und + 750 ° C. Es hat Korrosionsbeständigkeit und erhöhte Gasströmung verbessert, um eine höhere Gleichmäßigkeit in der Kammer zu erreichen. Es verfügt auch über eine Auskleidung mit geringem Emissionsgrad, um die Temperaturgleichmäßigkeit zu erhalten und Oxidation zu verhindern. Die Reaktorkammer wird auch durch Hochfrequenz, Impulsheizung und Strahlungsheizzzonen beheizt, um eine effiziente und gleichmäßige Erwärmung in der gesamten Kammer zu ermöglichen. Der AP-Enabler verfügt über ein dreistufiges Design. Dazu gehören Platzeinschränkung, volle Kontrolle von Druck, Temperatur und Flusssteuerung, die eine bessere Rezeptkonsistenz, einen verbesserten Workflow und effiziente Skalierbarkeit ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura AP Enabler verfügt über ein barrierefreies Design für das Wafer-Handling, das ein schnelles und effizientes Be- und Entladen von Wafern ermöglicht und somit die Durchlaufzeit reduziert. Der Reaktor verwendet Gasverteilungs- und Speichersystemtechnologie, die eine vollständige Prozessflexibilität und -steuerung sowie eine Vielzahl unabhängiger Zugangsports zum Be- und Entladen ermöglicht. Dies ermöglicht die effizienteste Verfahrenstechnik. Der Reaktor bietet auch mehrere Substrat-Verarbeitungslösungen, einschließlich Vakuumspaltung, Oxidation, Diffusion und Niedertemperatur chemische Dampfabscheidung. Centura AP Enabler bietet integrierte Prozesssteuerung und -überwachung mit einer Vielzahl von Sensoren, die sowohl eine Online-Prozessüberwachung als auch eine Echtzeit-Prozesssteuerung ermöglichen. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler wurde auch mit vereinfachten Bedienoberflächen und automatisiertem Betrieb konzipiert. Diese Eigenschaften machen es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung von qualitativ hochwertigen, ertragreichen Halbleiterprodukten.
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