Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9303196 zu verkaufen

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X Reaktor ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der die Verarbeitung mit flexiblen Rezepturen ermöglicht und mehrere Prozesse in derselben Kammer durchführt. Der Reaktor ist für die Geräteherstellung unter verschiedensten Bedingungen konzipiert, mit Funktionen, die eine zuverlässige Verarbeitung fortschrittlicher Prozesse ermöglichen. Es handelt sich um einen energieeffizienten Reaktor, der für Anwendungen wie Flachgraben-Isolation (STI), Zwischenschicht-Dielektrikum (ILD), Gate-Dielektrikum, Metall, High-K usw. sowie Dummy-Feldetch eingesetzt werden kann. Es bietet eine ausgezeichnete Verarbeitungsstabilität durch einen gleichmäßigen, ungleichmäßigen und gemischten Gasstrom. AMAT Centura AP Ultima X Reaktor ist eine Single-Wafer-Load-Ausrüstung, die einen automatisierten Rezeptgenerator verwendet, der es dem Benutzer ermöglicht, Parameter auf der Grundlage unterschiedlicher Prozessanforderungen schnell anzupassen. Das Gassystem auf dem Gerät ist für maximale Flexibilität ausgelegt, so dass sich Gase verändern, mischen und pendeln können. Der Reaktor arbeitet mit Freon-13 und anderen Freon-basierten Kältemitteln und ermöglicht eine Reihe von Temperatureinstellungen. Der Reaktor verfügt außerdem über ein Visualisierungsmodul, das bei der Ausführung von Rezepten in Echtzeit Prozessinformationen bereitstellt. Der Reaktor verfügt über eine Kombination aus chemischen Abgabe- und Automatisierungssystemen, die eine überlegene thermische Kontrolle während der Atomschichtabscheidung (ALD) und der CVD-Prozesse ermöglicht. Der Reaktor verfügt über ein Merkmal, das sich vor Beginn des Prozesses automatisch auf die Temperatur einstellt. Dies gewährleistet die Wiederholbarkeit von Run to Run und eliminiert manuelle Eingriffe, was zu einer größeren Prozesskontrolle führt. Die Umgebungstemperatur des EINSATZMATERIALIEN Centura AP Ultima X Reaktors ist bis maximal 800 ° C einstellbar. Ferner weist der Reaktor eine Temperaturregelmaschine auf, die die Temperatur in der Prozesskammer für konstantes Filmwachstum auf den Wafern hält. ANGEWANDTE MATERIALIEN/Centura AP Ultima X ist ein umfassender, energieeffizienter und leistungsstarker Reaktorthat, der sich ideal für fortschrittliche Prozessentwicklungsarbeiten eignet. Der hohe Automatisierungsgrad, die exzellente thermische Steuerung und die Flexibilität machen es ideal für die Produktion von Hochleistungs- und kostengünstigen Geräten.