Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #293794760 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP ist ein Reaktor der nächsten Generation, der den Durchsatz und die Qualität bei Abscheidungsprozessen mit Dünnschichtabscheidung verbessert. AMAT Centura AP ist ein fortschrittlicher Parallelreaktor, ideal für die Hochvolumenherstellung in der Halbleiterindustrie. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura AP besteht aus einer einzigen, automatisierten Reaktorkammer mit Be- und Entladestation. Die Kammer ist für die Handhabung verschiedener Prozessgase wie Sauerstoff, Stickstoff und Argon sowie zusätzlicher Gase wie Silan oder Tetrachlorid ausgelegt. Es ist mit einem Satz von Elektroden ausgestattet, um ein elektrisches Feld zu erzeugen, das gezielt entwickelt wurde, um den Abscheidungsprozess zu optimieren. Das automatisierte Regelsystem des Reaktors ermöglicht eine präzise Einstellung der Prozessparameter wie Druck und Temperatur, basierend auf spezifischen Abscheidungsaufgaben. Beim Betrieb werden die Prozessgase in die Kammer abgegeben, wo das elektrische Feld optimale Abscheidebedingungen erzeugt. Die reaktiven Gase gelangen dann zum Substrat, wo sich der gewünschte Dünnfilm bildet. Das Gas wird dann aus der Kammer abgeführt und die Kammer geschlossen, um eine ordnungsgemäße Reinigung mit Kühlgas zu gewährleisten. Centura AP ist einfach zu warten und verfügt über eine automatisierte Diagnose, mit der der Benutzer die Reaktionsparameter schnell und einfach diagnostizieren und anpassen kann. Darüber hinaus ist das System mit einer verschmutzungsbeständigen Konstruktion ausgelegt, um die Kontamination während des Abscheidungsprozesses zu minimieren. Die extrem geringe Stellfläche von AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP macht es ideal für Serienproduktionslinien. Der Reaktor bietet auch eine optimale Kontrolle über Prozesse wie PVD (chemisch aufgedampft) und ALD (atomare Schichtabscheidung) mit einer Vielzahl von Prozessparametern und präziser Gleichmäßigkeit. Die effiziente Leistung und der hohe Durchsatz des Reaktors machen ihn zu einer kommerziell attraktiven Lösung für die Halbleiterindustrie.
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