Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #9364673 zu verkaufen

ID: 9364673
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etcher, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP ist ein CVD-Reaktor, der für eine Vielzahl von Materialien wie Halbleiter, Leiter, Dielektrika, III-V-Materialien und Si/SiO2-Folien entwickelt wurde. Der Reaktor bietet eine hervorragende Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit zu einem kostengünstigen Preis. Der AMAT Centura AP Reaktor besteht aus einem Zweikammerdesign und einem Quarzrohr, in dem ein Vorläufermaterial erhitzt wird, um chemische Reaktionen auszulösen. Das erhitzte Vorläufermaterial wird dann mit einem Reagenzgas zu einem gewünschten Film auf dem Substrat umgesetzt. Der Reaktor weist eine beheizte Gasleitung auf, die die Zufuhr von geregelten und sicheren Vorläufermaterialien, eine Reagenzgaszufuhrleitung und eine Vakuumpumpe mit Abgasleitung ermöglicht. Der Reaktor hat eine breite Palette von Betriebstemperaturbereichen und Druckanforderungen, was ihn ideal für den Einsatz in mehreren Kristallorientierungen, wie (100) und (111) Flächen von Si-Substraten macht. Der hohe Durchsatz von APPLIED MATERIALS Centura AP macht es für großvolumige Anwendungen geeignet. Der Reaktor ist mit einer mehrstufigen Prozesssteuerungssoftware ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Gas- und Temperaturströme sowie die Fähigkeit zur Aufrechterhaltung der gewünschten Bedingungen während des gesamten Prozesses ermöglicht. Die Softwareschnittstelle bietet Benutzerfreundlichkeit, Flexibilität und Wiederholbarkeit bei der Durchführung von Experimenten oder Produktionsabläufen. Centura AP ist modular aufgebaut und verwendet ein Lastverriegelungsmodul, das eine schnelle und einfache Beladung und Übertragung von Substraten ermöglicht. Es hat eine breite Palette von Vorstufen, die elementare Vorstufen (SiH4, PH3, B2H6) sowie metallorganische Vorstufen (Propargyl, Butyllithium und Trimethylgallium) umfassen, aber es hat die Fähigkeit, auch mit anderen chemischen Vorstufen verwendet werden. Der Reaktor ist in der Lage, Wachstumsraten von Dutzenden von Angströmen bis Mikron pro Sekunde durch die Einstellung der Automatisierung und Prozesse. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP hat eine geringe Wartung und ist ein benutzerfreundliches Design mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen. Der Reaktor ist einfach zu bedienen und kann an spezifische Anforderungen angepasst werden. Die Robustheit der Reaktorkonstruktion macht sie für einen langfristigen, zuverlässigen Betrieb in Fertigungsumgebungen geeignet.
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