Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093317 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH Series Reactor ist eine Vakuumausrüstung für die Hochtemperatur-Waferbearbeitung. Es ist ein fortschrittliches System, das einen zuverlässigen und effizienten Betrieb in einem kompakten, benutzerfreundlichen Design bietet. Es ist entworfen, um mit einer Vielzahl von Wafergrößen, wie 200mm, 300mm und großen Durchmesser Wafer verwendet werden. Das Gerät verfügt über eine hohe Temperaturfähigkeit von bis zu 1100 ° C und bietet die Palette für Hochleistungsprozessanwendungen. Der AMAT Centura Reaktor der DLH-Serie kombiniert durch seine einzigartige Konstruktion und Konfiguration eine starke thermische Leistung mit hervorragender Maschinenstabilität. Das integrierte Reaktordesign beinhaltet eine geringe thermische Masse Mini-Rohrheizung mit eingebautem Quarzrohr/Element für Rapid Thermal Processing (RTP). Das Mini-Rohr-Design und die Silizidisolierung fördern eine ausgezeichnete Wärmeantwort und ermöglichen eine überlegene Temperaturgenauigkeit und enge Prozessfenster. Das DLH-Heizelement ist zudem hocheffizient und bietet hohe Leistungsaufnahme und schnelle Heizraten. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine robuste, diskrete Leistungsregelung, die eine präzise Kontrolle des Prozesses ermöglicht. Die integrierte Prozesssteuerung (PCU) ermöglicht eine präzise Automatisierung für schnelle Prozessverbesserungen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DLH Serie Reaktor bietet eine Reihe von erweiterten Sicherheitsfunktionen. Eine Integritätsprüfung überprüft die Leistungsbedingung jedes Elements vor der Waferverarbeitung. Darüber hinaus schützen und überwachen Sicherheitsverriegelungen, Thermoelemente und die Einlassdrucküberwachung die Wärmeleistung für außergewöhnliche Sicherheit. Schließlich können eine Vielzahl von Optionen, wie automatische Druckregelung, verbesserte PID-Steuerung und Quarz-Einlassrohre, verwendet werden, um die Modellleistung weiter zu verbessern. Insgesamt ist der Centura DLH Series Reactor eine leistungsstarke, effiziente und sichere Ausrüstung für die Hochtemperatur-Waferbearbeitung. Es zeichnet sich durch hervorragende thermische Leistung mit engen Prozessfenstern und robuster Prozesssteuerung aus. Seine kompakte Bauweise bietet Platzeinsparungen und eine benutzerfreundliche Bedienung. Schließlich bietet die Suite an Sicherheitsfunktionen unvergleichliche Sicherheit und Vertrauen in die Leistung des Systems.