Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093319 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH ist ein Reaktor zur Waferbearbeitung in einer Halbleiterherstellungsanlage. Dieser Reaktor hat eine Prozesskammer mit einem Fassungsvermögen von etwa 200 mm Durchmesser und 200 mm Höhe und verwendet Helium, um zu kühlen und einen niedrigen Umgebungsdruck innerhalb der Kammer bereitzustellen. Der Reaktor sorgt auch für Ultrahochvakuumbetrieb und kann zwischen Basisdrücken bis zu 10-7 Torr arbeiten. AMAT Centura DLH wurde entwickelt, um Ingenieuren und Technikern eine breite Palette von Optionen und Fähigkeiten für die Verarbeitung von Siliziumwafern zur Verfügung zu stellen. Dazu gehören hohe Durchsatzleistungen, eine präzise Steuerung von Temperatur, Gasförderung und Druck mit der Fähigkeit zum Betrieb in einem breiten Spektrum von Prozessbedingungen. Der Reaktor ermöglicht die Waferbearbeitung bei Temperaturen bis 1200 ° C und kann für die Metallabscheidung, dielektrische Abscheidung, Glühen und Ätzen verwendet werden. Zur Metallabscheidung ist der Reaktor in der Lage, Aluminium, Kupfer und Titan mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Darüber hinaus bietet der Reaktor eine hervorragende Gleichmäßigkeit für die dielektrische Abscheidung wie Oxide und Nitride sowie Resist und Polysilizium. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der Centura DLH-Reaktor verwendet eine gekühlte Leitwand und eine Richtdüse, um eine gleichmäßige Strömung in der Prozesskammer zu gewährleisten. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Abscheiderate über die Waferoberfläche und hilft auch, Partikel und andere Verunreinigungen aus der Kammer zu entfernen. Der Reaktor umfasst auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen und Fähigkeiten wie Einheitlichkeitsregelung, Wafertemperaturregelung, Prozessoptimierung und Echtzeitsteuerung. Mit diesen Funktionen können Anwender ihre Prozesse für einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Ausbeute optimieren. Darüber hinaus ist der Centura DLH Reaktor für eine schnelle Reaktivierung und Reinigung der Prozesskammer bei Wartung und Stillstand ausgelegt. Dies reduziert Ausfallzeiten und erhöht die Produktivität für Ihre Silizium-Wafer-Verarbeitung. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH ein zuverlässiger und effizienter Reaktor für verschiedene Prozesse im Zusammenhang mit der Herstellung von Siliziumscheiben. Mit einer breiten Palette an erweiterten Funktionen und Funktionen ist dieser Reaktor so konzipiert, dass er den Anwendern die Flexibilität und Leistung bietet, die erforderlich sind, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen.