Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura (DPN+) #9174570 zu verkaufen

AMAT Centura (DPN +) ist ein Reaktor, der für hochleistungsfähiges reaktives Ionenätzen und Dünnschichtabscheidung sowohl in der Einzelwafer- als auch in der Chargenverarbeitung konzipiert ist. Der Reaktor wurde entwickelt, um Prozessfähigkeiten zu ermöglichen, die Herausforderungen bei der Herstellung und Abscheidung von empfindlichen und hochspezifischen Materialien wie der III-V-Geräteherstellung angehen können. Der Reaktor verfügt über einen fortschrittlichen Controller, der es Benutzern ermöglicht, auf neue erweiterte Funktionen wie Breitflächengleichförmigkeit, hohe Plasmadichte und hohe Energien zum Ätzen zuzugreifen. Die seitliche Gleichmäßigkeit der Ausrüstung wird durch den Einsatz einer Standard-Mehrkanalquelle weiter verbessert. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der Centura (DPN +) Reaktor ist modular aufgebaut und ermöglicht es dem Anwender, das System an seine spezifischen Prozessanforderungen anzupassen. Die Steuereinheit am Reaktor ist so ausgelegt, dass sie die Leistung der Maschine verfolgt, um eine optimale Gesamtleistung der Werkzeuge zu gewährleisten. Der Reaktor nutzt auch eine fortschrittliche Diagnostik, die es Prozessingenieuren ermöglicht, die Prozessparameter zu überwachen, um sicherzustellen, dass die Ätzraten und andere Prozessanforderungen erfüllt sind. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura (DPN +) ist in der Lage, eine sehr präzise Kontrolle über den elektrostatischen Spannfutterdruck (ESP) und die Temperaturdosis zu erreichen. Das Gerät bietet auch mehrere Impulsoptionen, die eine Anpassung der Prozessparameter zur Optimierung der Ätzrate ermöglichen. Die Impulstechnologie ist in der Lage, mehrere Impulsoptionen wie Einzelimpuls und Mehrimpuls zu ermöglichen, die höhere Ätzraten und eine verbesserte Prozesssteuerung beim Ausführen von reaktiven Ionenätzen ermöglichen. Darüber hinaus ist AMAT Centura (DPN +) mit fortschrittlichen Reglern ausgestattet, die eine Temperatur- und Druckkontrolle über die Ätzkammer sowie die Möglichkeit zur Überwachung und Einstellung der Prozessparameter ermöglichen. Dadurch kann der Anwender die Prozessparameter einstellen und sicherstellen, dass die Ätzraten und andere Prozessanforderungen erfüllt sind. Die patentierten Doppelmagnetrons ermöglichen zudem eine höhere Ionennutzungseffizienz und eine geringere Verschmutzung im Vergleich zu herkömmlichen RF-Ätzwerkzeugen. Darüber hinaus bietet APPLIED MATERIALS Centura (DPN +) auch die Flexibilität, die Reaktorressourcen durch zusätzliche Komponenten zu erweitern, um die Kapazität zu erhöhen, die es dem Benutzer ermöglicht, ein hochkonfigurierbares Modell zu erstellen. Mit einer Reihe von Mehrzweckarmaturen und zusätzlichem Werkzeug kann der Anwender den Reaktor in seine bestehende Produktionslinie integrieren. Insgesamt bietet der AMAT/APPLIED MATERIALS Centura (DPN +) Reaktor eine kostengünstige und robuste Lösung, die eine korrekte Prozessleistung garantiert und gleichzeitig die hohen Anforderungen an die Entwicklung und Herstellung neuer Materialien und Geräte erfüllt. Das Gerät mit seinen fortschrittlichen Steuerungen, leistungsstarken Funktionen und einem breiten Spektrum an Funktionen ermöglicht eine präzise Steuerung und Genauigkeit des Ätzprozesses und gewährleistet Prozessstabilität, Reproduzierbarkeit und Wiederholbarkeit.