Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPN #9399901 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPN ist eine hochleistungsfähige integrierte Etch/Deposition Reactor Equipment, die die neuesten Fortschritte in der Ätz- und Abscheidungstechnologie kombiniert. Auf diese Weise können Ingenieure hochgradig kundenspezifische Strukturen wie multi-dielektrische dual-dielektrische Filme, MEMS-Geräte (Micro Electro-Mechanical Systems), ultra-low k dielektrische Filme und Lichtwellenleiter erstellen. Das System ist speziell für hochvolumige, leistungsstarke Umgebungen konzipiert und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen wie Speicher- und Logikgeräte, integrierte 3-D-Schaltungsanordnungen, Leistungsverstärker, integrierte Anzeigeschaltungen und optische Wandler. Die Kreiselpumpe von AMAT Centura DPN kann höchste Präzisionsmaterialien mit der geringsten Gefahr von Verunreinigungen aufnehmen. Das Gerät verfügt über eine einzigartige Lademaschine auf Verschlussbasis, die mehrere Ätz-/Abscheidungsmaterialien laden und zwischen ihnen für eine optimale Prozessleistung wechseln kann. APPLIED MATERIALS CENTURA (DPN) umfasst vier Montageplätze, die dem Benutzer eine genaue Kontrolle darüber ermöglichen, wo die Materialien geladen und entladen werden, um die Zielätz-/Abscheidungsparameter genau zu dosieren. Das Werkzeug ist in der Lage, ein präzises reaktives Ionenätzen (RIE) aus verschiedenen Materialien bis zu 10 μ m bereitzustellen. Die Anlage verfügt über Echtzeit-RIE-Druckrückkopplung, die eine präzise Steuerung der EBSD-Parameter während des gesamten Prozesses, eine präzise Temperaturregelung des Ätzgases, eine präzise Steuerung der Temperaturgleichförmigkeit über das Substrat und eine präzise Steuerung der Ätz- und Abscheidungsnebenprodukte ermöglicht. CENTURA (DPN) ermöglicht auch den gleichzeitigen Einsatz zweier unterschiedlicher Ätz-/Abscheidungsgase und ermöglicht so eine präzise Kontrolle der endgültigen Ätz-/Abscheidungseigenschaften der fertigen Folie. Weitere Merkmale von Centura DPN sind eine einfach zu bedienende grafische Oberfläche, die eine präzise Kontrolle über den gesamten Prozess ermöglicht, und eine Modellleistungsüberwachung, um eine optimale Leistung unter allen Ätz-/Ablagerungsbedingungen zu gewährleisten. Das Gerät ist mit Hochleistungs-multivariaten Analysen zur präzisen Steuerung von Wachstums-, Feuerfest- und Deckschichtparametern ausgestattet. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPN bietet eine vollständige Kontrolle über den gesamten Abscheide- und Ätzprozess vom Be- und Entladen der Materialien bis hin zur vollständigen Kontrolle der Parameter der Materialätzung/-abscheidung und der Nachbearbeitung. Schließlich ist das System in der Lage, mehrere Ätz- und Abscheidungsprozesse zu automatisieren, wodurch die Bedienungspersonen nicht mehr die Bedingungen der Materialätzung/Abscheidung wechseln und mischen müssen.
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