Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9188283 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA ist ein Halbleiterreaktor zur Herstellung integrierter Schaltungen. Es ist ein Single-Wafer, Multi-Gas, Parallel-Plasma Etch/Deposition System, das hauptsächlich bei der Entwicklung der neuesten Hochleistungsgeräte eingesetzt wird. Dieser Reaktor verfügt über ein hohes Maß an Automatisierung, verbesserte Stabilität und verbesserte Sicherheitsmerkmale. Dieser Reaktor verfügt über ein heißes Wafer-Handling-System und mehrere Prozessgase, die zum Ätzen oder Abscheiden von Metallschichten oder Oxiden auf der Oberfläche des Wafers verwendet werden können. Die Fähigkeit, mehrere Gase zu verwenden, ermöglicht eine breite Palette von Verarbeitungsmöglichkeiten, wie die Steuerung des Metallsilizid-Wachstums, ermöglicht Substratoxidation, wodurch eine stärkere Glühung von Metallbereichen, etc. Das Einwafer-Handhabungssystem ermöglicht eine hohe Kontrolle der Lage der Kammer, wie Neigung, Winkel und Fokus, was für eine gleichmäßige Dicke und Gleichmäßigkeit der Schichten entscheidend ist. Die fortschrittlichen Verarbeitungsmöglichkeiten dieses Reaktors ermöglichen höchste Ausbeute aus dem Wafer-Herstellungsprozess. AMAT Centura DPS G5 MESA ist mit einer temperaturgeregelten Prozesskammer ausgelegt, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung bei hoher Stabilität ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, daß die Kammer für den gesamten Prozeßzyklus auf der gewünschten Temperatur gehalten wird. Darüber hinaus enthält die Kammer einen automatisch gesteuerten Luftspalt, ein Paar Emitterelektroden und eine HF-Stromversorgung mit variabler Frequenz. Dieser Reaktor verfügt auch über einen integrierten, direkt lesenden Mikroprozessor-basierten Multi-Parameter-Controller mit der Fähigkeit, unter anderem bis zu 2000 Rezepte zu speichern. Diese Eigenschaften, kombiniert mit den niedrigen Betriebskosten des Reaktors, der hervorragenden thermischen Gleichmäßigkeit und der geringen thermischen Drift, der Zuverlässigkeit der Mission und der einfachen Wartung machen APPLIED MATERIALS CENTURA DPS G5 MESA zur ersten Wahl für eine breite Palette von Fertigungsprozessen.