Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383826 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA
ID: 9383826
Etcher (3) Mesa chambers Axiom chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA (Metal Etch Selective Area) ist eine hochentwickelte und vielseitige Reaktorplattform für den Einsatz in fortschrittlichen Ätz- und Abscheidungsprozessen. Dieser Reaktor, der in die fünfte Generation der AMAT Centura DPS-Systemfamilie fällt, bietet erhebliche und zuverlässige Leistungsvorteile gegenüber Reaktoren der früheren Generation und ist seit Jahren in der Branche erprobt und bewährt. Der AMAT Centura DPS G5 MESA Reaktor ist auf einer großen Bodenplatte aufgebaut, die breite Prozessabläufe und vielseitige Ausstattungsflexibilität ermöglicht. Dieser Reaktor ist auch mit einer Vielzahl von Gas- und Flüssigkeitseinlässen und -auslässen ausgestattet, die eine Vielzahl von Konfigurationen ermöglichen, die für verschiedene Prozessanforderungen geeignet sind. Der Reaktor verfügt auch über einen modularen Aufbau mit separaten Kammern für verschiedene Prozessschritte sowie Prozessmodule, die entweder mit Front-Down oder Side-Down Wafer Konfigurationen eingerichtet werden können. Das Design des Reaktors umfasst auch ein modernes und einfach zu bedienendes Steuerungssystem, das viele Automatisierungsstufen ermöglicht und mit einer Vielzahl von Prozessüberwachungs- und Protokollierungstools ausgestattet ist. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht zudem eine einfache Überwachung und Nachverfolgung kritischer Geräteparameter, um gleichbleibend zuverlässige und wiederholbare Prozesse zu gewährleisten. Der Reaktor verfügt über eine ultrahohe Niederenergie-Plasmaquelle sowie eine breite HF-Lieferleistung, so dass er die Prozesszeiten deutlich schneller liefern kann als andere Systeme seiner Klasse. Darüber hinaus ermöglicht es die Hochleistungs-Plasmaquelle des Reaktors, die anspruchsvollsten Prozesse wie Hochtemperatur-Photoresist-Prozesse zu bewältigen. Der Reaktor kommt auch mit mehreren Hochleistungsprozessendpunktentdeckungssystemen, einschließlich der Industriestandardplasmaemissionsentdeckungsmaschine (PED), Wirbelstromentdeckung (ECD) und der hohen Empfindlichkeit optisches Emissionsentdeckungswerkzeug (OED). Mit diesen Endpunkterkennungssystemen können Sie erkennen, wann ein Prozessschritt abgeschlossen ist und Prozessvariationen oder Fehlererzeugungen verhindern. Schließlich umfasst die APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA Reaktorfamilie auch eine Reihe von Support- und Wartungsoptionen, wie Prozessrezeptgenerierungs- und Optimierungsdienstleistungen, Expertenanalyse und Fehlerbehebung vor Ort sowie erweiterte Garantie- und Serviceprogramme. Der Reaktor erfüllt zudem die höchsten Industriesicherheitsstandards für Betrieb und Wartung sowie für Qualitätssicherung und Konformität.
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