Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383830 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA Reaktor ist eine hochmoderne Halbleiterverarbeitungsanlage für den Einsatz in fortgeschrittenen Abscheidungsanwendungen. Es ist ein modularer Reaktor mit einer Reihe von Technologien, die es ermöglichen, auf die spezifischen Bedürfnisse einer breiten Palette von Prozessströmen zugeschnitten werden. Das System basiert auf der AMAT-patentierten MESA-Plasmaquellentechnologie, die hohe Leistung, hohe Zuverlässigkeit und niedrige Kosten kombiniert. AMAT Centura DPS G5 MESA Reaktor verwendet eine Multi-Source-Architektur, um eine wirklich diskrete Plasmaquelle zu liefern. Es handelt sich um eine Zweizonenmaschine mit zwei getrennten Kammern, einer für die Plasmaerzeugungskammer und einer zweiten für die Substratkammer. Die Plasmakammer beherbergt zwei unabhängige Hauptquellenplasmen, die sicherstellen sollen, dass Ionenenergie, Plasmadichte und andere Plasmaparameter für die spezifische Anwendung optimiert werden. Es verfügt auch über austauschbare Gasleitungen, so dass sowohl reaktive als auch nicht-reaktive Gase je nach Bedarf eingeführt werden können. Die Kammer ist aus Edelstahl gebaut, um gasdicht zu sein, mit einem druckgeregelten Balg und Entlüftungsanschluss, um eine einfache Wartung und Zugabe von Gasen zu ermöglichen. Die Substratkammer beherbergt je nach Werkzeuganordnung ein oder zwei unabhängige Prozessmodule, die aus der Plasmakammer mit Strom versorgt werden. Der modulare Aufbau ermöglicht den einfachen Austausch oder die Rekonfiguration der Module für eine Vielzahl von Abscheideprozessen. Darüber hinaus verfügt die Kammer über einen doppelseitigen Verschluss, mit dem eine kontaminationsfreie Umgebung aufrechterhalten oder die zeitliche Auflösung der Substrattemperatur optimiert werden kann. Die Substratkammer verfügt außerdem über eine in situ Quarzkristallüberwachung zur Überwachung von Gasströmen und anderen Prozessparametern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS G5 MESA Reaktor ist ein zuverlässiges und kostengünstiges Modell für fortgeschrittene Abscheidungsanwendungen. Der modulare Aufbau und die modernste Technologie ermöglichen eine beispiellose Prozessflexibilität und ermöglichen eine Vielzahl physikalisch und chemisch unterschiedlicher Prozesse auf einer Plattform. Darüber hinaus sind die geringen Betriebskosten und die schnelle Zykluszeit ideal, um den stetig steigenden Bedarf an Geräten mit kleinem Formfaktor zu decken.