Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383831 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA ist eine Hochleistungs-physikalische Dampfabscheidung (PVD) Ausrüstung für Wolfram-Barriere und Kontakt Anwendungen entwickelt. Dieses System ermöglicht die Herstellung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente wie metallische Kontakte, dielektrische Filme niedriger k und feuerfeste Metallnitrid- und Oxidbarriereschichten. Mit fortschrittlichen Funktionen bietet das Gerät eine optimale Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der Filmstruktur und der Beanspruchungen und trägt so zur Verbesserung der Prozessausbeute bei. AMAT Centura DPS G5 MESA umfasst eine hochentwickelte Vakuumkammer mit Mehrzonentechnologie. Es verfügt über fortschrittliche Thermomanagement-Designs, die es ermöglichen, weniger als 1 ppm der Ziel-Gasabscheidungsrate zu erreichen. Die Maschine nutzt eine einzige, integrierte Werkzeugarchitektur, die maximalen Durchsatz ermöglicht und gleichzeitig Wiederholbarkeit gewährleistet. Hinzu kommt ein kostengünstiges Konzept mit nur drei Komponenten und ohne zusätzlichen Gas- oder Heizbedarf. Das DPS G5 MESA verwendet mehrere Magnetrons, um eine Fünf-Zonen-Seitendiffusionsabschirmung (LDS) zu schaffen, die konfiguriert werden kann, um die Filmgleichförmigkeit, die Abscheidegeschwindigkeit und den Spannungszustand der Folien zu optimieren. Das Asset ist außerdem mit einer In-situ-Leistungszelle und einem Depositionsüberwachungsmodell ausgestattet, das eine gute Prozesssteuerung ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS G5 MESA bietet eine schnelle, kostengünstige Lösung für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Die Ausrüstung ermöglicht sowohl Einzel- als auch Doppelschlitzabscheidungsprozesse, was eine verbesserte Produktivität ermöglicht. Das System bietet auch eine hervorragende Temperaturregelung, um die gewünschte Abscheiderate und Filmgleichförmigkeit zu erhalten. Die Mehrzonen-Wärmemanagementfunktionen sorgen dafür, dass die Temperatur der Kammer und des Targets stabil bleibt und somit eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit gewährleistet ist. Das fortschrittliche LDS-Design bietet robuste Gleichmäßigkeit und verbesserte Wiederholbarkeit von Folien. Centura DPS G5 MESA ermöglicht genaue und effiziente Barriere- und Kontaktabscheidungsprozesse für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Das Gerät kombiniert modernste Technologien, um einen verbesserten Durchsatz, eine höhere Gleichmäßigkeit und eine bessere Gesamtprozesskontrolle zu erzielen. Sein fortschrittliches LDS-Design sorgt für eine gleichmäßige Filmbildung und seine integrierte Leistungszellen- und Abscheidungsüberwachungsmaschine ermöglicht eine genaue Kontrolle des Abscheidungsprozesses. Dieses Tool ist eine kostengünstige Lösung für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente und kann eine konsistente, wiederholbare Leistung in der Serienproduktion bieten.