Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188280 zu verkaufen

AMAT CenturaTM DPS G5 ist ein revolutionärer PVD-Reaktor zur Durchführung verschiedener Dünnschichtabscheidungsprozesse. Dieser Reaktor bietet hervorragende Prozessfähigkeit und Produktivität für die Abscheidung von kontinuierlichen Folien, Linerfolien oder alternierenden Schichten aus mehreren Materialien. Es kann für eine Vielzahl von Anwendungen wie Hardmasken- und Ätzstoppschichten, Barriere- und Diffusionsschichten und reflektierende Schichten verwendet werden. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 Reaktor basiert auf der traditionellen DPS-Technologie. Dieses Gerät bietet eine robustere und zuverlässigere Plattform als andere Reaktoren und arbeitet mit hohem Durchsatz bis zu 250⅙ Wafereingängen. Der Reaktor wurde entwickelt, um die Zykluszeit zu reduzieren und den Metallverlust in jedem Zyklus zu minimieren, was eine kostengünstigere Lösung bietet. Es verfügt über Prozesskammer- und Gaszufuhrsysteme sowie anspruchsvolle mechanische, elektrische und Softwaresysteme, die die Prozessparameter steuern. Der Reaktor verfügt über eine leistungsstarke digitale Gleichstromquelle mit hoher Regelstabilität und Wiederholbarkeit, die für zuverlässige Dünnschichtabscheidungen unerlässlich ist. Darüber hinaus verfügt es über ein einfach zu bedienendes, benutzerfreundliches, PC-interfaced und monochromatorgesteuertes System mit dreidimensionaler Drehstufe zur Zielquellenpositionierung. Dies ermöglicht eine präzise Zielorientierung für optimale Foliengleichmäßigkeit und konforme Abdeckung entlang aller Oberflächen der Wafer. Der Reaktor bietet auch eine breite Palette von Prozesskammern für eine Vielzahl von Prozessanwendungen. Diese Kammern sind aus Edelstahl-Gefäßen mit der Option einer einzigen oder Dual-Top und verwenden Quarz Glockenglas Technologie, um die Wiederablagerung von zuvor verdampften Molekülen und Partikeln zu minimieren. Das Gerät unterstützt auch verschiedene Heiz- und Kühlmöglichkeiten für Substratvorwärmung und -kühlung während der Verarbeitung für erhöhten Durchsatz, Gleichmäßigkeit und Ausbeute. Der Reaktor arbeitet mit mehreren Prozessgasen, um spezifische Filmeigenschaften zu erzielen. Sie umfasst eine vollautomatische und programmierbare Gasfördermaschine, die bis zu acht reaktive Gase und bis zu vier Inertgase unterstützt. Die Drucksteuerung der Kammer ist ständig einstellbar und effizient verwaltet, um die optimalen Prozessbedingungen zu erhalten. AMAT Centura DPS G5 bietet integrierte In-situ- und Ex-situ-Messtechnik zur Prozesssteuerung und -optimierung. Dieses Tool ist vollständig digital kompatibel und ermöglicht Fernzugriff für eine bessere Kontrolle des Asset-Status und ermöglicht einen effizienteren Workflow.