Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188281 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5
ID: 9188281
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etcher, 12" Process: Poly 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 ist ein Dünnschichtabscheidungsreaktor, der für die Serienproduktion fortschrittlicher Technologien entwickelt wurde. Es ist ein branchenführendes Werkzeug zur Abscheidung von dünnen Filmen wie Polysilizium, Siliziumoxid und anderen Metalloxiden sowie Dielektrikum und Passivierungsschichten. Die G5 ist eine Atmosphärendruck, Dual-Platen, linear gerichtete physikalische Dampfabscheidung (LDPVD) Plattform, die eine einzigartige Zwei-Kammer-Technologie verwendet, die eine präzise und wiederholbare Abscheidung ermöglicht. Das Gerät verfügt über eine Single-Source-Technologie mit einem breitgefächerten Gasfördersystem, das eine vielseitige Herstellung von Dünnschichtmaterialien ermöglicht. Beide Kammern der G5-Kammer sind mit automatisierten Rollläden ausgestattet, die eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit bei beiden Kammerbedingungen sowie eine effizientere Materialbearbeitung ermöglichen. Die G5 hat auch eine einzigartige, zum Patent angemeldete Kühlfalle, die Substratverunreinigungen während der Abscheidung erfasst und eine sauberere und effizientere Herstellung von Dünnschichtmaterialien ermöglicht. Die hochauflösende, automatisierte Blendensteuerung des G5 ermöglicht eine synchronisierte Belichtung mehrerer Wafer mit den gleichen Abscheidebedingungen. Dies gewährleistet eine unübertroffene Prozesswiederholbarkeit und Einheitlichkeit. Darüber hinaus ist der G5 in der Lage, schnelle thermische Zyklen, ermöglicht eine schnellere Verarbeitung von Folien und weniger Re-Deposition Schritte. Dies führt zu einem höheren Durchsatz und geringeren Betriebskosten. Darüber hinaus verfügt der G5 über eine präzise Lastverriegelungseinheit, die ein schnelles Be- und Entladen von Wafern sowie einen hervorragenden Durchsatz ermöglicht. Mit einem AC-Netzteil kann die Maschine schnell Temperaturen erreichen und halten. Das Werkzeug ist auch mit einem Niederleistungs-Hochfrequenz-Array ausgestattet, das eine hochdichte Dünnschichtverarbeitung ermöglicht und Verschmutzungen durch Bordpartikel beseitigt. AMAT Centura DPS G5 ist ein fortschrittlicher Hochleistungsreaktor, der hochwertige Dünnschichten herstellen kann. Mit seiner unübertroffenen Prozesswiederholbarkeit, Gleichmäßigkeit und effizienten Materialbearbeitung ist der G5 der Reaktor der Wahl für die Serienproduktion fortschrittlicher Materialien für Geräte der nächsten Generation.
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