Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9352797 zu verkaufen
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ID: 9352797
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Etcher, 12"
Mesa
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 Reaktor ist eine Hochleistungs-thermische Verarbeitungsanlage für die Abscheidung und Ätzung von Dünnschichtstrukturen. Der Reaktor ist für Anwendungen konzipiert, bei denen Prozessvariabilität, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit entscheidende Erfolgsfaktoren sind. Das G5 nutzt bewährte Technologien, um präzise, wiederholbare und zuverlässige Prozessergebnisse zu liefern. AMAT Centura DPS G5 Reactor ist für die Temperaturregelung mit digitalen Temperaturreglern für jede Kammer und einem mehrzonigen, gasgeschützten, speziellen thermischen Kernwärmeverteiler mit einer Betriebsfähigkeit von bis zu 1200 ° C ausgelegt. Hocheffiziente Pumpen und eine gleichmäßige Ätzverteilung bieten zuverlässige Prozessbedingungen, die für die Prozesswiederholbarkeit und hohe Ausbeuten erforderlich sind. Der Reaktor ist mit einer Auto-Clean-Funktion ausgestattet, die die Wartung durch automatisierte Reinigungsverfahren reduziert. Branchenführende Abscheidung und Ätzgleichförmigkeit wird durch hohe Gleichmäßigkeit Optik Design für jede Plasmakammer erreicht, die Ungleichförmigkeiten durch asymmetrische Plasmaverteilung von schrägen Prozeßergebnissen verhindert. Jede Prozesskammer ist entweder mit einem herkömmlichen Faraday-Schild oder magnetisch abgeschirmten Wänden ausgestattet, um die Ätzgleichmäßigkeit zu maximieren. Das Kreuzkammergemisch-Abgabesystem ist so konzipiert, dass es stark wiederholbare Prozessgase bereitstellt, um reproduzierbare Abscheidungsgeometrien zu gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS G5 Reaktor verfügt über geräuscharmen Betrieb für alle Verarbeitungsvorgänge und hält eine enge Betriebstemperaturhülle aufrecht, um emittierte Partikel und Verunreinigungen auf ein Minimum zu reduzieren. Der Reaktor ist mit Blick auf die Sicherheit ausgelegt, mit einer Ein-Gas-Einlass- und Ein-Gas-Auslasseinheit, die explosive Gase enthält, einem Not-Aus-Knopf, einem schnellen Notabschaltventil, um die Maschine sofort abzuschalten, wenn ein Prozess-außer-Kontrolle-Zustand erkannt wird, und einem Temperat-Schm. Centura DPS G5 Reactor ist eine ideale Wahl für modernste thermische Verarbeitungsanwendungen, die Genauigkeit und Zuverlässigkeit erfordern. Der Reaktor kann dank seiner leistungsstarken Eigenschaften konstant hervorragende Verarbeitungsergebnisse liefern und ist damit die ideale Wahl für jeden fortschrittlichen thermischen Verarbeitungsbedarf.
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