Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379816 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 ist ein hochmoderner Reaktor zur Abscheidung, Ätzung und Implantation unterschiedlichster Materialien. Es bietet einen robusten modularen Aufbau, der auf der neuesten Lithographie- und Ätztechnologie basiert. Dieser Reaktor nach dem Stand der Technik eignet sich gut für die Halbleiterverarbeitung. Das DPS G5 ist um ein rohrförmiges Innenvolumen gerahmt, das die Kammer und die Prozessgase enthält. Die Kammer verfügt über einen Hochgeschwindigkeitssatz von Rotoren mit einer Reihe von Ionenstrahlen. Dieses im DPS G5 vorhandene Merkmal hilft beim Targeting von Material mit Plasma- und/oder Ionenimplantation, was den Energieverbrauch verringert. Der Bereich der Ionenstrahlen umfasst Sauerstoffionen und Stickstoffionen, die in der Lage sind, diese Materialien in Substrate für eine Vielzahl von Anwendungen, wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, zu implantieren. Das DPS G5 verfügt über eine Reihe von in das System integrierten Prozesssteuerungsmodulen. Dazu gehören eine geschlossene Niederschlagskammer, mehrere Vakuumpumpen und ein automatisierter Massenstromregler. Mit diesen inneren Steuerungssystemen ist der DPS G5 in der Lage, den Massenstrom, den Druck und die Temperatur der Prozessgase präzise zu regulieren und gleichzeitig eine optimale Steuerung und Wiederholbarkeit zu erreichen. Der Reaktor ist in der Lage, eine hohe Leistungsgeschwindigkeit und einen hohen Durchsatz bereitzustellen. Das DPS G5 verfügt über mehrere Insitu-Diagnostika wie Spektroskopie, Prozessparametermessung und Plasmakontrolle. Diese Insitu-Diagnose verbindet sich mit einer bordseitigen automatisierten Prozesssteuerung zur präzisen Manipulation der Oberfläche des Substrats. AMAT Centura DPS G5 ist auch für einfache Wartung konzipiert. Der Reaktor enthält mehrere Schnellwechselwerkzeuge und Module, wodurch die regelmäßige Wartung erleichtert wird, z. B. der Austausch von Filtern und Messern. Leistungsmäßig ist das DPS G5 in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, abzuscheiden und zu implantieren, darunter Metalle, Keramiken, Kunststoffe und verschiedene Halbleitermaterialien. Es ist in der Lage, Prozesse bei hohen Temperaturen und Drücken sowie unter Ultrahochvakuumbedingungen durchzuführen. Alles in allem ist APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 eine ausgezeichnete Wahl für eine breite Palette von Materialbearbeitungsanwendungen.