Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379822 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 Reaktor ist ein Hochleistungswerkzeug, das bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist in der Lage, Hochgeschwindigkeitsätzen und Abscheiden von Materialien auf Substraten, so dass es ideal für die Herstellung von extrem komplizierten Eigenschaften. Der G5-Reaktor ist ein Hybrid-, Dual-Beam, Direct Plasma Source (DPS) -Reaktor, der eine induktiv gekoppelte Plasma- (ICP) -Quelle mit einer mikrowellenangeregten kapazitiv gekoppelten Plasma- (CCP) -Quelle kombiniert. Der G5 ist mit einem leistungsstarken Mikrowellengenerator mit bis zu 5 kW Energie ausgestattet. Der Mikrowellenstrahl wird dann auf das Substrat fokussiert, wodurch ein Plasma mit sehr gleichmäßiger Ionenenergie und Teilchengröße entsteht. Diese Gleichmäßigkeit ist wichtig, um konsistente Ätz- und Abscheidungsergebnisse zu gewährleisten. Die DPS-Architektur des G5-Reaktors sorgt zudem für ein stabiles und präzises Mikrowellenplasma. Der G5 verfügt auch über eine breite Palette von Gaskontrollfunktionen, um eine ideale Verarbeitungsumgebung zum Ätzen und Abscheiden zu gewährleisten. Zu den im G5 verwendeten Gasen gehören NF3, O2, Ar, O2/N2 und H2. Durch eine sorgfältige Steuerung des Durchflusses dieser Gase erzeugt das G5 qualitativ hochwertigere Ätz- und Abscheidungen, als mit herkömmlichen Verfahren erreicht werden konnten. Der G5-Reaktor verfügt auch über eine Vielzahl fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen, wie ein automatisiertes, ausfallsicheres Mikrowellenabschaltsystem, um maximale Sicherheit und Betriebssicherheit zu gewährleisten. Es ist auch darauf ausgelegt, Kontaminationen von Prozessnebenprodukten zu minimieren, die Erträge und die Produktqualität weiter zu verbessern. Abschließend ist AMAT Centura DPS G5 Reactor ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug, das sich gut für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente eignet. Mit seiner Dual-Beam-DPS-Architektur, einer Vielzahl von Gaskontrollfunktionen und zahlreichen Sicherheitssystemen ist der G5 einer der führenden Reaktoren auf dem Markt für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.