Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ I #9116833 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + I ist ein Reaktor, der für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es ist eine hohe Temperatur, Ultrahochvakuum Thermalverarbeitungsanlage, die die Herstellung von kleinen Hochleistungshalbleitergeräten ermöglicht. Das System wurde entwickelt, um Ultra-High Vacuum (UHV) Verarbeitung und gleichmäßige Heizfähigkeit zur Verfügung zu stellen. AMAT Centura DPS + bin ich eine hohe Temperatur, Ultrahochvakuum, in einer Prozession gehende für die fortgeschrittene Halbleitergerätherstellung spezifisch entworfene Thermaleinheit. Dies ist ein Industriestandard-Tool für fortschrittliche Prozesstechnologien. Es bietet Lösung für schnelles Temperaturrampen, ultradünne Schichtabscheidung, Reflow und Sintern von Dünnschichtmaterialien und thermische Verarbeitung von Nanostrukturen und Nanodesigns. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS + I hat eine Querträgerarchitektur mit zwei Prozesskammern, einer Lastschloßkammer und einer separaten Kühlkammer. Diese Architektur ermöglicht eine optimierte thermische Verarbeitung. Die Lastschloßkammer bietet Prozessflexibilität und verbesserten Maschinendurchsatz. Die Prozesskammern sind vakuumdicht und können bis zu 0,1 mbar Temperaturen erreichen. Dieser niedrige Temperaturbereich ist wichtig für die Verarbeitung von weniger wärmeempfindlichen Materialien wie ultradünnen Schichten, insbesondere wenn nanosize Strukturen beteiligt sind. Centura DPS + I ist mit einem Elektronenstrahl-Messwerkzeug (EBEAM) konfiguriert, das eine In-situ-Prozessüberwachung in Echtzeit ermöglicht. Dies ermöglicht eine bessere Steuerung und Anbindung von Prozessparametern, bietet aber auch eine detaillierte Datenerfassung und Datenverarbeitung. Die Anlage bietet auch Funktionen wie Temperaturverfolgung, schnelles Temperaturrampen, Druckprofilanpassung für optimale Plasmabearbeitung, automatisierte Prozesssteuerung und flexible Prozessintegration. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + I ist mit Sicherheitsfunktionen zum Schutz der Benutzer- und Modellintegrität konzipiert. Dazu gehören Prozesse, die vor Gasansammlungen schützen, die Bereitstellung eines Temperaturmonitors und die Aufrechterhaltung der richtigen Temperaturniveaus für einen sicheren Betrieb. Darüber hinaus ist das Gerät mit Schutzeinrichtungen wie einem Überdrucksicherheitsventil, Kammerabgleichsventilen und Krafteinstellhebeln ausgestattet. Insgesamt ist AMAT Centura DPS + I ein vielseitiges und zuverlässiges System, das eine effiziente und effektive thermische Verarbeitung für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bietet. Dieses Gerät bietet zuverlässige Leistung, präzise Prozesssteuerung und verbesserten Maschinendurchsatz, so dass Kunden hohe Erträge erzielen und die Geräteleistung verbessern können.
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