Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 #9284376 zu verkaufen
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ID: 9284376
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2016
Etcher, 12"
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 ist ein halbautomatischer Reaktor der Produktionsklasse, der speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist eine fortschrittliche Mehrkammerausrüstung zur Durchführung von Photoresist-, Abscheide-, Ätz- und Oberflächenbehandlungsprozessen für die Geräteherstellung. Das System besteht aus vier einzelnen Prozesskammern, die jeweils bis zu 12 "Durchmesser von 200 mm Wafersubstraten aufnehmen können. Die Einheit ist mit einem zweistufigen Roboterarm ausgestattet, der das Einsetzen und Entfernen von Substraten aus den Kammern ermöglicht. Dieser Roboterarm wird durch eine manuelle Verladung ergänzt, die zum Be- und Entladen von Wafern aus ihren Behältern verwendet werden kann. AMAT Centura DPS II Mesa T2 enthält auch eine schnelle Druckkontrollmaschine, die jeder Kammer die Möglichkeit gibt, innerhalb von fünf Minuten Drücke von bis zu 8 Torr zu erreichen. Darüber hinaus kann die Präzisionsheizungssteuerung im gesamten Werkzeug Temperaturen im Bereich von 30 bis 350 Grad Celsius erreichen. Darüber hinaus verfügt APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 über eine ausgeklügelte Wartungsressource, die den Betreibern hilft, Rezirkulationsfehler in Pumpen zu erkennen, die Möglichkeit einer Kontamination zu reduzieren und die vorbeugende Wartung zu vereinfachen. Dieses Modell unterstützt Anwender mit umfassenden Diagnosesystemen, vollständigen Ereignisprotokollen und Bordteile-Kits. Darüber hinaus ermöglicht die Ausrüstung Bediener zu aktualisieren und zu überwachen, Reaktant Make-up und Prozess passt aus der Ferne. Schließlich entspricht Centura DPS II Mesa T2 den Industriestandards wie SEMI E12 und SEMI S2. Das reinraumkompatible System ist mit einer Entlüftungseinheit und einer Abgaswäschermaschine ausgestattet. Der geringe Platzbedarf ermöglicht eine einfache Installation und das Tool kann individuell an die Bedürfnisse des Kunden angepasst werden.
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