Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly AE Mesa #293635852 zu verkaufen

ID: 293635852
Wafergröße: 12"
Poly etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Reaktor ist ein fortschrittliches Ätzwerkzeug, das speziell für die Herstellung von integrierten Schaltungen (IC) und anderen Hochleistungs-mikroelektronischen Komponenten entwickelt wurde. AMAT Centura DPS II ist ein Hochdurchsatz-Ätzwerkzeug, das eine Kombination aus niederenergetischer Leuchtstoffbeschichtung und hochpräziser Strahlsteuerung verwendet, um präzise Geometrie und Schichtdicke im Ätzprozess zu erreichen. Das Werkzeug ist für den Betrieb bei Temperaturen bis zu 120 Kelvin ausgelegt und bietet durch seinen schnellen, tiefen Ätzprozess und seine tiefe Abscheidbarkeit Flexibilitätsvorteile gegenüber anderen konventionellen Ätzwerkzeugen. Angewandte Materialien CENTURA DPS + II Reaktor verfügt über mehrere Prozessinnovationen, einschließlich zwei Ladungsträger Ermöglichung, zusammen mit seinen Multi-Strom, Multi-Gas und Multi-Rate-Fähigkeiten. Auf diese Weise kann das Werkzeug einzelne Schritte für mehrere Ätzprozesse festlegen und eine spezifische Schichtdicke mit großer Präzision erreichen. CENTURA DPS + II bietet auch fortschrittliche Prozesssteuerung und Überwachung, so dass Benutzer Parameter wie Driftzeit und Pulsspannung anpassen können, während die Produktqualität überwacht wird. Die Konstruktion des Werkzeugs minimiert zudem Verschmutzungen und Waferbrüche. Es umfasst eine Roboter-Wafer-Ladeausrüstung und ein automatisiertes Gasmischsystem, zusätzlich zu einer einstellbaren Strahlfokuseinheit, um eine effiziente und genaue Verarbeitung bei minimalen Ausfallzeiten zu gewährleisten. Centura DPS II verfügt außerdem über eine integrierte Kühlmaschine zur Aufrechterhaltung einer optimalen Wafertemperatur sowie ein eigenes Auspuffwerkzeug zur Entfernung korrosiver Gase. Um eine breite Palette von Ätzprozessen durchzuführen, verwendet AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II eine Vielzahl von leuchtstoffbeschichteten Keramik-, Edelstahl- und Molybdän-Silizium-Substraten. Es kann vorprogrammiert werden, um zwischen einer Vielzahl von Ätzprozessen wie Trocken- und Nassätzen, Ionenstrahlätzen, Tiefenätzen und mehr zu wechseln. Während seiner langen Lebensdauer ist APPLIED MATERIALS Centura DPS II zu einem unglaublich zuverlässigen und effizienten Ätzwerkzeug in der Hightech-Branche geworden. Seine Fähigkeit, mit sehr präziser Schichtdicke und hohem Durchsatz genau zu ätzen, macht es zu einem sehr begehrten Ätzwerkzeug in der Industrie. Der Tieftemperaturätzprozess in Verbindung mit der fortschrittlichen Prozessüberwachung und Steuerung des Werkzeugs macht AMAT CENTURA DPS + II zu einem wertvollen Werkzeug für die Herstellung von Hochleistungs-ICs und anderen mikroelektronischen Strukturen.
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