Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #293821495 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Reaktor ist für die Produktion von hochvolumigem Polysilizium ausgelegt. Es ist ein völlig automatisiertes Prozesswerkzeug, das 40 cm zeigt, die Raum mit der fortgeschrittenen Vielfachezonenthermalgleichförmigkeitstechnologie ausglühen. Die Prozessmodulfunktionen umfassen bis zu 600 cph mit bis zu 3 Modulen parallel. Das Tool enthält auch eine Niedertemperatur-Suite von Rezepten, um die Produktivität zu erhöhen. Die AMAT Centura DPS II ist mit einer doppelten Sollkammertemperaturregelung zur präzisen Regelung der thermischen Bedingungen in der Kammer ausgestattet. Dadurch kann die Wachstumsgleichmäßigkeit der Polysiliziumfolien optimiert werden. Das Werkzeug verfügt über fortgeschrittene Oberflächenvorbereitungsprozesse wie Ionenreinigung und Warmwandplasmaabscheidung. Es enthält auch eine Hochtemperatur-dielektrische Lösung, die entworfen ist, um die gefangene Ladung in dielektrischen Filmen zu reduzieren und die Wiederholbarkeit des Prozesses zu verbessern. Angewandte Materialien CENTURA DPS + II verwendet einen mehrstufigen Polysilizium-Abscheidungsprozess, einschließlich eines Ätzschrittes zum Entfernen der Grenzflächenoxidschicht, Schichtübertragung und eines gleichmäßigen Wurzelwachstumsschrittes. Der Abscheidungsprozess wird über ein fortschrittliches Echtzeit-Prozessleitsystem gesteuert. Dieses Gerät wurde entwickelt, um die Gleichmäßigkeit zwischen Lauf- und Laufrichtung sowie zwischen den Wafern zu optimieren, indem die Temperatur- und Dosiswerte in situ überwacht und die Parameter entsprechend angepasst werden, um die Ungleichmäßigkeit der Prozessergebnisse zu kompensieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS II enthält eine fortschrittliche Endpunktlösung zur Erhöhung der Prozesssteuerung und des Durchsatzes. Diese Lösung verwendet eine Kombination aus Echtzeit-Endpunkt- und Abscheidungsratenmessungen, um eine schnellere Endpunktbestimmung über längere Zeitrahmen zur genauen Kontrolle der Polysiliziumdicke und -glätte zu ermöglichen. Der CENTURA DPS + II Reaktor nutzt eine 5-stufige Sicherheitsmaschine für die Sicherheit und den Schutz des Bedieners. Mit diesem Werkzeug wird sichergestellt, dass das Werkzeug innerhalb seiner Sicherheitsparameter arbeitet und eine Verletzung verhindert, die zu gefährlichen Unfällen führen könnte. Der Reaktor enthält auch eine Fernüberwachungsanlage, die 24/7 arbeitet und die Betreiber über Unregelmäßigkeiten innerhalb der Prozessparameter informiert. AMAT CENTURA DPS + II ist eine vollautomatisierte Maschine, die hochwertiges Polysilizium effizient produziert. Seine fortschrittlichen Prozessleitsysteme, Einheitlichkeitstechnologien und Sicherheitsmaßnahmen machen es zu einer idealen Wahl für die Produktion von Polysilizium mit hohem Volumen.