Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9188294 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II ist ein fortschrittlicher thermischer Hochdichteplasmareaktor. Es wurde entwickelt, um hohe Abscheidungsraten für eine Reihe von Plasmaabscheidungsprozessen bereitzustellen, die hochenergetische Elektronenstrahlen wie Epitaxie, CVD, ALD und ALOx-Beschichtung usw. erfordern. AMAT Centura DPS II bietet modernste physikalische und chemische Bedampfungsfunktionen. Der Reaktor ist mit einer fortschrittlichen Multigitter-Elektronenquelle ausgestattet, die gleichmäßige und ungleichmäßige Verteilungen sowie einen großen Substratdruckbereich ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine unabhängige Gasstromsteuerung, die bis zu sieben einzelne Testgasleitungen unterstützt. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA DPS + II verfügt über einen vollautomatischen Kammerreinigungsprozess für schnelles und effizientes Anfahren, Herunterfahren und reduzierte Ausfallzeiten. Das effiziente Oberflächenbehandlungsverfahren umfasst einen automatisierten Gasdurchflussmesser sowie einen Mehrzonendrucksensor. Dies ermöglicht Abscheidungsprozesse mit Prozessgasen wie Sauerstoff, Lachgas, Kohlenmonoxid, Chlor und Trichlorsilan. Das Steuerungs- und Datenerfassungssystem des Reaktors wurde entwickelt, um Prozessüberwachungs- und Datenerfassungsfunktionen bereitzustellen. Darüber hinaus ermöglichen die Reaktoren kundenspezifische Rezepte, um eine optimale Wärmekontrolle, eine gleichmäßige Abscheidung und eine reduzierte erneute Abscheidung zu gewährleisten. Die Einheit ist in der Lage, eine optimale Gleichmäßigkeit und Abscheidung auf flexiblen und starren Substraten zu erzielen. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Abscheidung über verschiedene Bereiche auf den Substraten und sorgt für beste Ausbeute. Der AMAT CENTURA DPS + II Reaktor ist mit einem Inertgas-Rückseitenabgasmerkmal ausgestattet, das das Risiko von Substratverschmutzung und -abbau minimiert. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II kann für eine Vielzahl von Anwendungen wie die Herstellung von dünnen Schichten in der Halbleiterindustrie zur Verpackung von mikroelektronischen Bauelementen verwendet werden. Die Mehrzonen-Abscheidemaschine und das breite Spektrum an Abscheidegasen ermöglichen es Forschern, signifikante Produktivität und Prozessstabilität zu erreichen. Das Werkzeug ist zudem mit Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die den sicheren Betrieb des Reaktors und die Vermeidung gefährlicher Prozesse gewährleisten.