Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9189889 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9189889
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Poly etcher, 12"
(4) Chambers:
(3) DPS II
Poly
Axiom
Chamber configuration:
Chamber A:
Chamber model: DPS II
Bias generator: AE APEX 1513, 13.56 MHz, Maximum 1500 W
Bias match: AE, 13.56 MHz,3 kV navigat
Source generator: AE APEX 3013, 13.56 MHz, Maximum 3000 W
Source match: AE, 13.56 MHz,6kV navigat
Lid: Ceramic lid, dual gas nozzle
Turbo pump: EDWARDS STP-A3003CV
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-320
FRC: MKS FRCA-52163310, 500/500 1/4VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Endpoint type: EyeD IEP
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Process kits coating: Anodize coating
Cooling: HT 200 / FC 40
Chamber B:
Cathode chiller: SMC POU
Chamber C:
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Chamber D:
Chamber model: AXIOM
Source generator: 5000 W
Source match: AE match (RF System)
Throttle valve: Throttling gate valve
ESC: Pedestal heater
Mainframe configuration:
IPUP Type: ALCATEL A100L
Gas panel type: Standard
VHP Robot: Dual blade
MF PC type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306 Server
FIC PC type: 306 Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: KAWASAKI Single fixed robot (A3 Type)
Side storage: Right / Left side
MFC Configuration
Chamber A:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 DSLGD1XM
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber B:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber C:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber D:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 5 N2 1000 DSSGD1XM
Gas 7 4%H2/N2 5000 DSVGD1XM
Gas 8 O2 10000 DSVGD1XM
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II ist eine fortschrittliche Prozessreaktorausrüstung, mit der verschiedene Verfahren zur Herstellung einer breiten Produktpalette von Unterhaltungselektronik und Automobilkomponenten bis hin zu Luft- und Raumfahrtteilen und Medizinprodukten durchgeführt werden können. Das System wurde entwickelt, um flexible und zuverlässige Verarbeitungsfunktionen bereitzustellen, die ein konsistentes und effizientes Management der Produktionszyklen ermöglichen. AMAT Centura DPS II verwendet hochwertige Materialien wie Edelstahl, um eine lange Lebensdauer zu gewährleisten. Sie besteht aus 5 Hauptkomponenten, die die Reaktorkammer, den Förderbecher, den Werkzeugbecher, die Abgassteuereinrichtung und die Antriebssteuereinheit sind. Die Reaktorkammer ist so konzipiert, dass sie eine optimale Umgebung und Temperatur für chemische Reaktionen sowie eine inerte Atmosphäre zum Schutz vor korrosiven Dämpfen bietet. Der Vorschubbecher ist mit einer Vorschubmaschine ausgestattet, mit der Rohstoffe in das Bearbeitungswerkzeug eingebracht werden. Der Werkzeugbecher dient zur Unterbringung von Präzisionswerkzeugen und Zubehör, die für den erfolgreichen Abschluss von Prozessen notwendig sind. Die Abgassteuervorrichtung ist für die Steuerung der Gas- und Dampfmenge verantwortlich, die aus der Reaktorkammer freigesetzt wird, um sicherzustellen, dass sie auf einem sicheren Niveau gehalten wird. Schließlich wird die Antriebssteuerung verwendet, um die Geschwindigkeit der Bewegung des Reaktors zu regeln und eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA DPS + II enthält auch viele Sicherheitsmerkmale, die sowohl den Bediener als auch das Modell selbst schützen. Diese Sicherheitsmerkmale umfassen einen Notabschalter, eine Drucküberwachungseinrichtung, ein Sauerstoffüberwachungssystem und eine Inertgasüberwachungseinheit. Darüber hinaus ist die Software der Maschine in der Lage, detaillierte Diagnosen anzuzeigen, die helfen, Fehler oder Risiken, die während des Betriebs auftreten können, schnell zu erkennen. Insgesamt ist AMAT CENTURA DPS + II ein fortschrittliches und zuverlässiges Werkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Prozessen zur Herstellung von Produkten durchzuführen. Das robuste Design und die umfassenden Sicherheitsmerkmale machen es zu einer idealen Wahl für jeden Fertigungsaufbau.
Es liegen noch keine Bewertungen vor