Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9213084 zu verkaufen
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ID: 9213084
Metal etchers
Model
Channel A, B: DPS II
Channel C, D: AXIOM
Chamber A, B:
Model: DPSII metal
Bias generator: AE Apex 1513 13.56 MHz, maximum 1500 W
Bias match: AE 13.56 MHz,3 kV navigation
Source generator: AE APEX 3013 13.56 MHz, max 3000 W
Source match: AE 13.56 MHz, 6 kV navigation
Lid: Ceramic lid, single gas nozzle
Turbo pump: STP-A2503PV
Throttle valve: VAT Pendulum valve DN-250
ESC: Dual zone ceramic ESC
Endpoint type: Monochromatic
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Process kit coating: Anodize coating
Cooling: HT 200 / FC 40
Chamber C, D:
Model: ASP
Source generator: DAIHEN ATB-30B
Source match: DAIHEN SMA -3001
Throttle valve: Throttling gate valve
ESC: Pedestal heater
VODM
Mainframe configuration:
IPUP Type: ALCATEL A100L
Gas panel type: NextGen
VHP Robot: Dual blade
MF PC Type: CL7
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 4.0 FEPC
FIC PC Type: CPCI
(3) Load ports
Atmospheric robot: YASKAWA Track robot
Side storage: Right side
MFC Configuration:
EWE-02A Gas name Max flow MFC type
Gas 1 BCL3 200 SC-24
Gas 2 NF3 100 SC-23
Gas 3 - - -
Gas 4 CL2 400 SC-24
Gas 5 C2H4/HE 400 -
Gas 6 SF6 200 SC-24
Gas 7 O2 100 AANGD40W1
Gas 8 CF4 100 AAPGD40W1
Gas 9 AR 400 SC-23
Gas 10 N2 50 SC-22
Gas 11 N2 300 SC-24
Gas 12 CHF3 50 SC-23
EWE-02B Gas Name Max flow MFC type
Gas 1 BCL3 200 SC-24
Gas 2 NF3 100 SC-23
Gas 3 - - -
Gas 4 CL2 400 SC-24
Gas 5 C2H4/HE 400 -
Gas 6 SF6 200 SC-24
Gas 7 O2 1000 SC-25
Gas 8 CF4 100 SC-23
Gas 9 AR 400 SC-23
Gas 10 N2 50 SC-22
Gas 11 N2 300 SC-24
Gas 12 CHF3 50 SC-23
EWE-02C Gas Name Max flow MFC type
Gas 7 O2 10000 SC-27
Gas 8 CF4 300 SC-24
Gas 9 - - -
Gas 10 N2 1000 SC-25
EWE-02D Gas Name Max flow MFC type
Gas 1 - - -
Gas 2 - - -
Gas 3 - - -
Gas 4 - - -
Gas 5 - - -
Gas 6 - - -
Gas 7 O2 10000 SC-27
Gas 8 CF4 300 SC-24
Gas 9 - - -
Gas 10 N2 1000 SC-25.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II ist eine modulare Waferbearbeitungsanlage für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter- und optischen Industrie. Es besteht aus zwei Hauptkomponenten, einer Platte und einer Reaktorkammer. Die Platte ist die Schnittstelle zwischen den Bearbeitungswerkzeugen und Wafern, die eingeführt und aus dem System entfernt werden müssen. Es erleichtert die Ausrichtung und Platzierung von Substraten in die Reaktorkammer, um eine genaue Verarbeitung zu gewährleisten. Es umfasst auch Merkmale wie einen Wafer-Handler, optische Nachjustierung und Badkomponenten, um den Gesamtprozess weiter zu verbessern. Die Reaktorkammer ist der Hauptbearbeitungsbereich der Einheit und für eine Vielzahl von Reaktionsbedingungen ausgelegt. Es besteht aus einer Bearbeitungskammer, Plattenübertragungsarm, Reaktionskammerdeckel, Ein-/Auslassventil, Auslassöffnung und optionalen Merkmalen wie einer entfernten Plasmaquelle, einem Auto-GC und einem HF-Generator. Der Reaktionskammerdeckel bietet eine kontrollierte Umgebung für die Verarbeitung innerhalb der Kammer, die eine genaue Kontrolle von Temperatur und Druck ermöglicht. Das Ein-/Auslaßventil dient als Grenzfläche zwischen der Platte und dem Reaktionsraum. Es öffnet und schließt, so dass Substrate in die Kammer gelangen und aus ihr austreten können. Der Abgasanschluss ermöglicht die Evakuierung von reaktiven Gasen während der Verarbeitung. AMAT Centura DPS II bietet mit seinem modularen Ansatz eine Reihe von Vorteilen wie verbesserte Designflexibilität, erhöhte Prozesssteuerung vom Reaktionsraumdeckel und verbesserte Wafer-Handhabung und Ausrichtung von der Platte. Es ermöglicht auch wiederholbare Prozesse, schnellere Zykluszeiten und höhere Durchsätze. Die Maschine ist speziell auf die Aufrechterhaltung einer sauberen Betriebsumgebung ausgelegt und eignet sich daher für trockene Plasmaätzprozesse. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II ein zuverlässiges und benutzerfreundliches Reaktorwerkzeug, das für eine Vielzahl von Anwendungen konfiguriert werden kann. Der modulare Aufbau ermöglicht es Anwendern, das Setup an spezifische Bedürfnisse anzupassen, die Flexibilität und Kontrolle bieten. Das Asset kann den Durchsatz erhöhen, die Produktrenditen verbessern und die Zeit und Kosten der Fertigung reduzieren.
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