Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9243879 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II
ID: 9243879
Weinlese: 2005
Etchers (3) Chambers 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II ist eine hochfunktionale und fortschrittliche Oxidationsbearbeitungsanlage, die sowohl für Forschung als auch für Produktionsanwendungen entwickelt wurde. Dieser Reaktor ist speziell für konforme Heteroübergangsprozesse ausgelegt und bietet eine überlegene Prozesssteuerung. Sein Design ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung von dünnen Schichten in einer Vielzahl von Anwendungen, einschließlich der Abscheidung von High-K-Dielektrika, Metalle, Polymere und mehr. Die Kammer von AMAT Centura DPS II besteht aus niedrigthermischem Edelstahl, was zu einer minimalen thermischen Verteilung über die Substratoberfläche führt. Das System ist mit einem äußeren Hitzeschild ausgestattet, das zur Minimierung von Partikel- und Streuverlusten konzipiert ist und sein Innenraum hat ein hochglanzpoliertes Finish, um die Partikelemission bei hohen Temperaturen zu reduzieren. Das Gerät verfügt außerdem über zwei Lasten, die schnellere Be- und Entladezyklen ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA DPS + II hat auch eine fortschrittliche Endpunkt-Erkennungsmaschine, die die Notwendigkeit der Rezeptabstimmung und Überwachung während des Laufs eliminiert. Das Werkzeug bietet mit seiner leistungsstarken Strahlkuppel und der geschlitzten induktiven Quelle eine hohe Heizleistung. Dies ermöglicht eine schnelle Erwärmung von bis zu 1000 ° C und gewährleistet eine gleichmäßige Temperatur während des gesamten Prozesses. Die lautlose und wartungsfreie Turbopumpe sorgt für eine präzise Steuerung des Gasflusses und präzise Druckniveaus während der Verarbeitung. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II Stromversorgungssteuerung enthält eine Front Panel Interface (FPI), die zur Einstellung und Überwachung der Verarbeitungsparameter verwendet wird. Dieser Controller ermöglicht eine einfache und schnelle Abstimmung der Parameter bei gleichmäßigerer Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit. Der adaptive Gamma Control-Algorithmus ermöglicht eine präzise Steuerung von Plasmaparametern sowie eine schnelle Messung und Rückkopplung, um die gewünschten Substratbedingungen während der Abscheidung aufrechtzuerhalten. AMAT CENTURA DPS + II ist eine ideale Wahl für Forschungs- und Produktionsanwendungen. Dank seines fortschrittlichen Designs und seiner Funktionen bietet das Asset eine überlegene Prozesssteuerung, verbesserte Einheitlichkeit und schnellere Be- und Entladezyklen. Darüber hinaus machen seine leistungsstarken Heiz- und Gaskontrollfunktionen und die fortschrittliche Endpunkterkennung ihn zu einem unschätzbaren Werkzeug für moderne Oxidationsprozesse.
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